| قطعنامه: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | بزرگنمایی: | 1x-600000x |
|---|---|---|---|
| ولتاژ تسریع: | 0.2kV-30kV | حداکثر قطر نمونه: | 175 میلی متر |
| برجسته کردن: | ابزار میکروسکوپی الکترونی اسکن,ماشین |
||
مزایا:
◆ تفنگ انتشار میدان شاتکی
◆ سیستم لنز با کارایی بالا چند مرحله ای
◆ پایداری پرتو بالا
◆ محفظه نمونه فوق العاده بزرگ قابل تنظیم
◆ عملیات ساده
◆ توسعه پذیری غنی و عملکرد هزینه بالا
مشخصات:
| مورد | EM8010 | |
| قطعنامه |
SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV
|
|
| بزرگنمایی |
1x-600000x
|
|
| تفنگ الکترونی | تفنگ انتشار میدان شاتکی | |
| ولتاژ شتاب دهنده |
0.2kV-30kV
|
|
|
سیستم خلاء
|
2 پمپ یون، 1 پمپ مولکولی توربو شناور مغناطیسی، 1 پمپ خشک
|
|
| دیافراگم شیئی | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم سیستم خلاء بیرونی | |
| مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
| سفر کنید | X (خودکار) | 0 تا 80 میلی متر |
| محدوده | Y (خودکار) | 0 تا 50 میلی متر |
| Z (دستی) | 0 تا 30 میلی متر | |
| R (دستی) | 360 درجه | |
| T (دستی) | -5 تا 70 درجه | |
| حداکثر قطر نمونه | 175 میلی متر | |
| آشکارساز |
|
|
| اصلاح | ارتقاء مرحله؛ EBL؛ STM؛ AFM؛ مرحله گرمایش؛ مرحله کریو؛ مرحله کششی؛ دستکاری میکرو نانو؛ SEM + دستگاه پوشش؛ SEM + لیزر | |
| لوازم جانبی |
EDS / EBSD / STEM / CL / مرحله گرمایش / مرحله خنک کننده / مرحله کششی و غیره
|
|
تماس با شخص: Mr. Shawn Liu
تلفن: 86-10-82548271
فکس: 86-010-62564613