産業用ターボ分子ポンプ 任意のマウント位置 63L/S N2 ポンプ速度
ターボ分子ポンプ 、 FF-63/80E 、 水冷却 、 グリース潤滑 、 計装用 KYKYが機器業界向けに開発した機器用分子ポンプシリーズは、コンパクトで高性能なタイプです。機器分野の厳しい要件を完全に満たします。より高い回転速度とより最適な抽出構造により、複数の補助ポンプと互換性があり、低分子ガスに対してより強力なポンプ能力を備えています。 利点: 1. システム統合に適したコンパクトな構造 2. より多くの選択肢を実現するためのモジュール設計 3. 高い前圧耐性 4. 任意の取り付け位置 5. 回転速度の調整可能 アプリケーション: 機器用のシリーズ分子ポンプは、質量分析、表面分析、その...
63L/S 産業用ターボ分子ポンプ
,任意のマウント位置産業用ターボ分子ポンプ
,工業用ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ 、 FF-63/80E 、 水冷却 、 グリース潤滑 、 計装用
KYKYが機器業界向けに開発した機器用分子ポンプシリーズは、コンパクトで高性能なタイプです。機器分野の厳しい要件を完全に満たします。より高い回転速度とより最適な抽出構造により、複数の補助ポンプと互換性があり、低分子ガスに対してより強力なポンプ能力を備えています。
利点:
1. システム統合に適したコンパクトな構造
2. より多くの選択肢を実現するためのモジュール設計
3. 高い前圧耐性
4. 任意の取り付け位置
5. 回転速度の調整可能
アプリケーション:
機器用のシリーズ分子ポンプは、質量分析、表面分析、その他の科学研究の分野における高真空発生装置に適した選択肢です。耐食性を備えた機器用分子ポンプは、塗膜産業やエッチング産業などの腐食性ガスを伴うプロセスに応用できます。
仕様:
| フランジ(内側) | ISO-K/CF63 |
| フランジ(アウト) KF | DN16 |
| 排気速度(L/s) | N2:62 |
| 彼:55 | |
| H2:34 | |
| アル:65 | |
| 圧縮率 | N2:109 |
| 彼:105 | |
| H2:104 | |
| Ar:109 | |
| 到達圧力(Pa) | CF:5×10-6 |
| ISO-K:3×10-5 | |
| 最大。連続真空前圧力(Pa) | 500 |
| 最大。前真空圧力 | N2:1500 |
| 全体のガス (sccm) | N2:35 |
| 彼:30 | |
| H2:19 | |
| Ar:38 | |
| 回転速度(rpm) | 72000 |
| 助走時間(分) | ≤2 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量(L/min) | 1 |
| 冷却水温度(℃) | ≤25 |
| 電源接続: 電圧 (V AC) | DC24/AC220 |
| 最大消費電力(W) | 90 |
| コントローラモデル | TD-80/TCP-100/TC-100 |