Промышленный турбомолекулярный насос Любое положение установки 63L/S N2 Скорость насоса
Турбо-молекулярный насос , FF-63/80E , Охлаждение воды , Смазка консистентной смазкой , Инструментальный Серия молекулярных насосов для инструментов, разработанная KYKY для приборостроительной промышленности, представляет собой компактные высокопроизводительные типы. Он может идеально удовлетворить ...
Промышленный турбомолекулярный насос 63L/S
,Любое монтажное положениеПромышленный турбомолекулярный насос
,Промышленный турбомолекулярный насос
Турбо-молекулярный насос , FF-63/80E , Охлаждение воды , Смазка консистентной смазкой , Инструментальный
Серия молекулярных насосов для инструментов, разработанная KYKY для приборостроительной промышленности, представляет собой компактные высокопроизводительные типы. Он может идеально удовлетворить сложные требования в области приборостроения; Благодаря более высокой скорости вращения и более оптимальной конструкции извлечения он совместим с несколькими форвакуумными насосами и обладает более высокой производительностью для перекачивания низкомолекулярных газов.
Преимущества:
1. Компактная структура для системной интеграции.
2. Дизайн модуля для большего выбора
3. Более высокий допуск предварительного давления
4. Любое монтажное положение
5. Регулируемая скорость вращения.
Приложения:
Серийные молекулярные насосы для приборов являются подходящим выбором для оборудования для генерации высокого вакуума в области масс-спектрометрии, анализа поверхности и других научных исследований. Коррозионностойкие молекулярные насосы для инструментов могут применяться в процессах, в которых задействованы агрессивные газы, например, в производстве пленочных покрытий и травлении.
Технические характеристики:
| Фланец(Внутри) | ИСО-К/CF63 |
| Фланец(выходной) KF | Ду16 |
| Скорость откачки (л/с) | Н2:62 |
| Он: 55 | |
| ЧАС2:34 | |
| Ар:65 | |
| Степень сжатия | Н2:109 |
| Он: 105 | |
| ЧАС2:104 | |
| Ар:109 | |
| Предельное давление (Па) | КФ: 5×10-6 |
| ИСО-К:3×10-5 | |
| Макс. Непрерывное давление форвакуума (Па) | 500 |
| Макс. Форвакуумное давление | Н2:1500 |
| Газ повсюду (sccm) | Н2:35 |
| Он: 30 | |
| ЧАС2:19 | |
| Ар:38 | |
| Скорость вращения (об/мин) | 72000 |
| Время запуска (мин) | ≤2 |
| Тип охлаждения,Стандартный | Вода |
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | 1 |
| Температура охлаждающей воды (℃) | ≤25 |
| Подключение питания: напряжение (В переменного тока) | ДК24/АК220 |
| Макс. потребляемая мощность (Вт) | 90 |
| Модель контроллера | ТД-80/TCP-100/TC-100 |
