-5KV Triode Sputter Pump Ion Thép không gỉ Tăng tốc độ bơm khí trơ

Bơm ion, 3L-25, DN35CF, 21L/s Air, 6L/s Ar, -5KV, 7E-8Pa

Bơm phún xạ ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và cực cao.

Bơm phún xạ ion là loại bơm chính của bộ chân không cực cao không dùng dầu.

Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không cần bơm hỗ trợ hoạt động liên tục.

Nguyên tắc:

Vật liệu của cực dương là thùng thép không gỉ và vật liệu của tấm istitanium cực âm. Quá trình phóng điện của Penning làm ion hóa khí dưới tác động chung của từ trường và điện trường, do đó làm cạn kiệt khí.

Bơm ion triode được cải tiến để tăng tốc độ bơm khí trơ; Các ion khí trơ được đưa tới lưới titan của cực âm, sau đó được trung hòa và phản xạ về thành bơm và cực dương để được chôn cùng với màng titan. Vì khí trơ được chôn trong thành bơm sẽ không được giải phóng do bắn phá ion dương nên tốc độ bơm khí trơ sẽ tăng lên.

Thuận lợi:

Dòng máy bơm này có những ưu điểm như sạch sẽ, độ chân không cao, không tiếng ồn, không rung và thuận tiện khi vận hành.

Ứng dụng:

Các ứng dụng chính là thiết bị thí nghiệm khoa học trong lĩnh vực máy gia tốc hạt năng lượng cao, thiết bị phản ứng nhiệt hạch có điều khiển, thiết bị chân không điện, vật liệu bán dẫn, kính hiển vi điện tử và máy quang phổ khối, và các thiết bị công nghiệp khác cần độ chân không cực cao.

Thông số kỹ thuật: