-5KV Triode Sputter พั๊มไอออนเหล็กไร้สแตนเลส เพิ่มอัตราการปั๊มก๊าซอ่อน

ปั๊มไอออน , 3L-25 , DN35CF , ลม 21L/s , Ar 6L/s , -5KV , 7E-8Pa

ปั๊มสปัตเตอร์ไอออนเป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศเพื่อให้ได้สุญญากาศที่สะอาดและมีปริมาณสูงเป็นพิเศษ

ปั๊มสปัตเตอร์ไอออนเป็นปั๊มหลักของชุดสูญญากาศน้ำมันน้อยพิเศษสูง

ปั๊มไอออนทำงานในระบบปิดซึ่งไม่ต้องใช้ปั๊มสำรองที่ทำงานอย่างต่อเนื่อง

หลักการ:

วัสดุของแอโนดคือกระบอกสแตนเลส และวัสดุของแผ่นแคโทดอิสติเทเนียม กระบวนการปล่อยก๊าซแบบเพนนิงจะทำให้ก๊าซแตกตัวเป็นไอออนภายใต้การกระทำร่วมของสนามแม่เหล็กและสนามไฟฟ้า ซึ่งทำให้ก๊าซหมดไป

ปั๊ม Triode ion ได้รับการปรับปรุงเพื่อเพิ่มอัตราการสูบก๊าซเฉื่อย ไอออนของก๊าซเฉื่อยจะถูกแทะเล็มในตารางไทเทเนียมของแคโทด จากนั้นทำให้เป็นกลาง และสะท้อนไปที่ผนังปั๊มและแอโนดเพื่อฝังด้วยฟิล์มไทเทเนียม เนื่องจากก๊าซเฉื่อยที่ฝังอยู่ในผนังปั๊มจะไม่ถูกปล่อยออกมาเนื่องจากการทิ้งไอออนบวก ความเร็วในการสูบสำหรับก๊าซเฉื่อยจึงเพิ่มขึ้น

ข้อดี:

ปั๊มซีรีส์นี้มีข้อดี เช่น ความสะอาด ระดับสุญญากาศสูง เสียงเป็นศูนย์ การสั่นสะเทือนเป็นศูนย์ และความสะดวกในการใช้งาน

การใช้งาน:

การใช้งานหลักคืออุปกรณ์การทดลองทางวิทยาศาสตร์ในด้านเครื่องเร่งอนุภาคพลังงานสูง อุปกรณ์ปฏิกิริยาเทอร์โมนิวเคลียร์แบบควบคุม อุปกรณ์สูญญากาศไฟฟ้า วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กทรอนิกส์และแมสสเปกโตรมิเตอร์ และอุปกรณ์อุตสาหกรรมอื่น ๆ ที่ต้องการสุญญากาศสูงเป็นพิเศษ

ข้อมูลจำเพาะ: