-5KV pompa sputtera trójodowa z stali nierdzewnej zwiększająca szybkość pompowania gazu obojętnego

Pompa jonowa, 3L-25, DN35CF, 21L/s Powietrze, 6L/s Ar, -5KV, 7E-8Pa

Pompa napylająca jest urządzeniem wytwarzającym próżnię, umożliwiającym uzyskanie czystej i bardzo wysokiej próżni.

Pompa napylająca jest główną pompą bezolejowego zestawu ultrawysokiej próżni.

Pompa jonowa pracuje w układzie zamkniętym, który nie wymaga ciągłej pracy pompy wspomagającej.

Zasada:

Materiał anody to korpus ze stali nierdzewnej, a materiał katody to tytanowa płyta. Proces wyładowania Penninga jonizuje gaz pod wspólnym działaniem pola magnetycznego i pola elektrycznego, powodując w ten sposób wyczerpywanie się gazu.

Ulepszono pompę jonową triodową w celu zwiększenia szybkości pompowania gazu obojętnego; jony gazu obojętnego są poddawane wnikaniu w tytanową siatkę katody, następnie neutralizowane i odbijane od ścianki pompy i anody w celu zasypania warstwą tytanu. Ponieważ gaz obojętny zakopany w ściance pompy nie zostanie uwolniony w wyniku bombardowania jonami dodatnimi, prędkość pompowania gazu obojętnego wzrasta.

Zalety:

Ta seria pomp ma zalety takie jak czystość, wysoki stopień podciśnienia, zero hałasu, zero wibracji i wygoda obsługi.

Aplikacje:

Główne zastosowania to aparatura do eksperymentów naukowych w dziedzinie akceleratorów cząstek wysokoenergetycznych, aparatury do kontrolowanej reakcji termojądrowej, elektrycznego urządzenia próżniowego, materiałów półprzewodnikowych, mikroskopu elektronicznego i spektrometru mas oraz innego sprzętu przemysłowego wymagającego ultrawysokiej próżni.

Dane techniczne: