-5KV Triode Sputter Pump Ion Acciaio inossidabile Aumento del tasso di pompaggio di gas inerti

Pompa ionica , 3L-25 , DN35CF , 21L/s Aria , 6L/s Ar , -5KV , 7E-8Pa

La pompa a ioni di sputter è un'apparecchiatura per la generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultraelevato.

La pompa a ioni di polverizzazione è la pompa principale del set per vuoto ultra-alto senza olio.

La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto a funzionamento continuo.

Principio:

Il materiale dell'anodo è il cilindro in acciaio inossidabile e il materiale della piastra del catodo è in istitanio. Il processo di scarica Penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.

La pompa ionica triodo è stata migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; gli ioni di gas inerte sono soggetti a incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere sepolti con la pellicola di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento di ioni positivi, la velocità di pompaggio del gas inerte viene aumentata.

Vantaggi:

Questa serie di pompe presenta vantaggi quali pulizia, elevato grado di vuoto, zero rumore, zero vibrazioni e comodità di funzionamento.

Applicazioni:

Le principali applicazioni sono gli apparecchi per esperimenti scientifici nei campi dell'acceleratore di particelle ad alta energia, apparecchi per la reazione termonucleare controllata, dispositivi per vuoto elettrico, materiale semiconduttore, microscopio elettronico e spettrometro di massa e altre apparecchiature industriali che richiedono un vuoto ultraelevato.

Specifiche: