-5KV pompe à sputter à triode en acier inoxydable ionique augmentant le taux de pompage des gaz inertes
Pompe ionique , 3L-25 , DN35CF , 21L/s Air , 6L/s Ar , -5KV , 7E-8Pa La pompe à pulvérisation ionique est un équipement de génération de vide permettant d'obtenir un vide propre et ultra poussé. La pompe à pulvérisation ionique est la pompe principale de l'ensemble à ultra-vide sans huile. La pompe ...
- pompe à sputter à triode 5KV
,Pompes à sputter à triode en acier inoxydable
Pompe ionique , 3L-25 , DN35CF , 21L/s Air , 6L/s Ar , -5KV , 7E-8Pa
La pompe à pulvérisation ionique est un équipement de génération de vide permettant d'obtenir un vide propre et ultra poussé.
La pompe à pulvérisation ionique est la pompe principale de l'ensemble à ultra-vide sans huile.
La pompe ionique fonctionne dans un système fermé qui ne nécessite pas de pompe d'appoint fonctionnant en continu.
Principe:
Le matériau de l'anode est un corps en acier inoxydable et le matériau de la cathode est une plaque en titane. Le processus de décharge Penning ionise le gaz sous l'action conjointe du champ magnétique et du champ électrique, réalisant ainsi l'épuisement du gaz.
La pompe ionique triode est améliorée pour augmenter le taux de pompage du gaz inerte ; les ions de gaz inerte sont soumis à une incidence rasante dans la grille de titane de la cathode, puis neutralisés et réfléchis vers la paroi de la pompe et l'anode pour être enterrés avec le film de titane. Comme le gaz inerte enfoui dans la paroi de la pompe ne sera pas libéré en raison du bombardement d'ions positifs, la vitesse de pompage du gaz inerte est augmentée.
Avantages :
Cette série de pompes présente des avantages tels que la propreté, le degré de vide élevé, l'absence de bruit, l'absence de vibration et la commodité de fonctionnement.
Applications :
Les principales applications sont les appareils d'expérimentation scientifique dans les domaines de l'accélérateur de particules à haute énergie, des appareils de réaction thermonucléaire contrôlés, des dispositifs de vide électrique, des matériaux semi-conducteurs, des microscopes électroniques et des spectromètres de masse, ainsi que d'autres équipements industriels nécessitant un ultra-vide.
Caractéristiques:
| Modèle | 3L-25 | |||
| Bride | DN35CF | |||
| Vitesse de pompage (L/S) | ( air) | 21 | ||
| Vitesse de pompage | (Ar) | 6 | ||
| Pression de démarrage (Pa) | ≤5×10-4 | |||
| pression ultime (Pa) | 7×10-8 | |||
| (℃)température de cuisson | <200 | |||
| Avec magnétique | ||||
| Sans magnétique | <300 | |||
| tension de fonctionnement (KV) | -5 | |||
| unité d'électrode | 1 | |||
| L*L*H (mm) | 222×121×161 | |||
| (kg) poids | 8 | |||
