-5KV Triode Sputter Pump Ion stainless steel Meningkatkan tingkat pompa gas inert

Pompa Ion, 3L-25, DN35CF, Udara 21L/dtk, Ar 6L/dtk, -5KV , 7E-8Pa

Pompa sputter-ion adalah peralatan pembangkit vakum untuk mendapatkan vakum yang bersih dan sangat tinggi.

Pompa sputter-ion adalah pompa utama set vakum ultra-tinggi tanpa oli.

Pompa ion bekerja dalam sistem tertutup yang tidak memerlukan pompa pendukung yang bekerja terus menerus.

Prinsip:

Bahan anodanya adalah tong stainless steel, dan bahannya adalah pelat katoda istitanium. Proses pelepasan Penning mengionisasi gas di bawah aksi gabungan medan magnet dan medan listrik, sehingga menghasilkan gas yang habis.

Pompa ion triode ditingkatkan untuk meningkatkan laju pemompaan gas inert; ion-ion gas inert dikenai penggembalaan ke dalam jaringan katoda titanium, kemudian dinetralkan, dan dipantulkan ke dinding pompa dan anoda untuk dikuburkan dengan film titanium. Karena gas inert yang terkubur di dinding pompa tidak akan terlepas akibat pemboman ion positif, kecepatan pemompaan gas inert ditingkatkan.

Keuntungan:

Rangkaian pompa ini memiliki keunggulan seperti kebersihan, tingkat vakum yang tinggi, nol kebisingan, nol getaran dan kemudahan pengoperasian.

Aplikasi:

Aplikasi utama adalah peralatan eksperimen ilmiah di bidang akselerator partikel berenergi tinggi, peralatan reaksi termonuklir terkontrol, perangkat vakum listrik, bahan semikonduktor, mikroskop elektronik dan spektrometer massa, dan peralatan industri lainnya yang memerlukan vakum sangat tinggi.

Spesifikasi: