-5KV Triode Sputter αντλία ιόντων από ανοξείδωτο χάλυβα αυξάνοντας το ποσοστό άντλησης αδρανών αερίων

Αντλία ιόντων , 3L-25 , DN35CF , 21L/s Αέρας , 6L/s Ar , -5KV , 7E-8Pa

Η αντλία ιόντων διασκορπισμού είναι εξοπλισμός παραγωγής κενού για την απόκτηση καθαρού και εξαιρετικά υψηλού κενού.

Η αντλία ιόντων διασκορπισμού είναι η κύρια αντλία λαδιού που δεν υπερβαίνει το σετ κενού.

Η αντλία ιόντων λειτουργεί σε ένα κλειστό σύστημα που δεν απαιτεί συνεχή λειτουργία αντλίας υποστήριξης.

Αρχή:

Το υλικό της ανόδου είναι βαρέλι από ανοξείδωτο χάλυβα και το υλικό από πλάκα καθοδικού ιστιτανίου. Η διαδικασία εκκένωσης Penning ιονίζει το αέριο υπό την κοινή δράση του μαγνητικού πεδίου και του ηλεκτρικού πεδίου, πραγματοποιώντας έτσι την εξάντληση του αερίου.

Η αντλία ιόντων τριόδου είναι βελτιωμένη για την αύξηση του ρυθμού άντλησης για αδρανές αέριο. Τα ιόντα αδρανούς αερίου υποβάλλονται σε πρόσπτωση βόσκησης στο πλέγμα τιτανίου της καθόδου, στη συνέχεια εξουδετερώνονται και ανακλώνται στο τοίχωμα της αντλίας και στην άνοδο για να ταφούν με το φιλμ τιτανίου. Καθώς το αδρανές αέριο που είναι θαμμένο στο τοίχωμα της αντλίας δεν θα απελευθερωθεί λόγω βομβαρδισμού θετικών ιόντων, η ταχύτητα άντλησης για το αδρανές αέριο αυξάνεται.

Φόντα:

Αυτή η σειρά αντλιών έχει πλεονεκτήματα όπως καθαρότητα, υψηλό βαθμό κενού, μηδενικό θόρυβο, μηδενικούς κραδασμούς και ευκολία στη λειτουργία.

Εφαρμογές:

Οι κύριες εφαρμογές είναι οι συσκευές επιστημονικών πειραμάτων στους τομείς του επιταχυντή σωματιδίων υψηλής ενέργειας, των συσκευών ελεγχόμενης θερμοπυρηνικής αντίδρασης, της ηλεκτρικής συσκευής κενού, του υλικού ημιαγωγών, του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου και του φασματόμετρου μάζας και άλλου βιομηχανικού εξοπλισμού που απαιτεί εξαιρετικά υψηλό κενό.

Προδιαγραφές: