-5KV Triode sputterpomp Ion roestvrij staal Verhoogde pompsnelheid van inert gas

Ionenpomp, 3L-25, DN35CF, 21L/s Lucht, 6L/s Ar, -5KV, 7E-8Pa

Sputter-ionpomp is een vacuümgeneratieapparatuur voor het verkrijgen van een schoon en ultrahoog vacuüm.

De sputter-ionenpomp is een hoofdpomp met een olieloze ultrahoogvacuümset.

De ionenpomp werkt in een gesloten systeem, waarvoor geen continu werkende voorpomp nodig is.

Beginsel:

Het materiaal van de anode is een roestvrijstalen cilinder en het materiaal van de kathode-istitaniumplaat. Het Penning-ontladingsproces ioniseert gas onder de gezamenlijke werking van een magnetisch veld en een elektrisch veld, waardoor de afvoer van gas wordt gerealiseerd.

De Triode-ionenpomp is verbeterd om de pompsnelheid voor inert gas te verhogen; ionen van inert gas worden onderworpen aan strijkinval in het titaniumrooster van de kathode, vervolgens geneutraliseerd en gereflecteerd naar de pompwand en anode om te worden begraven met de titaniumfilm. Omdat inert gas dat in de pompwand is begraven niet zal vrijkomen als gevolg van een bombardement met positieve ionen, wordt de pompsnelheid voor inert gas verhoogd.

Voordelen:

Deze serie pompen heeft voordelen zoals reinheid, hoge vacuümgraad, geen geluid, geen trillingen en bedieningsgemak.

Toepassingen:

De belangrijkste toepassingen zijn de wetenschappelijke experimentapparatuur op het gebied van hoogenergetische deeltjesversneller, gecontroleerde thermonucleaire reactieapparatuur, elektrisch vacuümapparaat, halfgeleidermateriaal, elektronische microscoop en massaspectrometer, en andere industriële apparatuur die ultrahoog vacuüm vereist.

Specificaties: