Dầu bơm ion phún xạ chân không cực cao Ít hơn 7 × 10-8 Pa Áp suất tối đa
Bơm ion , 2L-25 , DN35CF , 22L/s Air , 0,3L/s Ar , +7KV , 7E-8Pa Bơm phún xạ ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và cực cao. Bơm phún xạ ion là loại bơm chính của bộ chân không cực cao không dùng dầu. Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không cần bơm hỗ trợ hoạt động ...
Máy bơm ion phun chân không cực cao
,Máy bơm ion ít dầu
,Máy bơm ion phun 7 × 10-8 Pa
Bơm ion , 2L-25 , DN35CF , 22L/s Air , 0,3L/s Ar , +7KV , 7E-8Pa
Bơm phún xạ ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và cực cao.
Bơm phún xạ ion là loại bơm chính của bộ chân không cực cao không dùng dầu.
Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không cần bơm hỗ trợ hoạt động liên tục.
Nguyên tắc:
Vật liệu của cực dương là thùng thép không gỉ và vật liệu của tấm istitanium cực âm. Quá trình phóng điện của Penning làm ion hóa khí dưới tác động chung của từ trường và điện trường, do đó làm cạn kiệt khí.
Thuận lợi:
Dòng máy bơm này có những ưu điểm như sạch sẽ, độ chân không cao, không tiếng ồn, không rung và thuận tiện khi vận hành.
Ứng dụng:
Các ứng dụng chính là thiết bị thí nghiệm khoa học trong lĩnh vực máy gia tốc hạt năng lượng cao, thiết bị phản ứng nhiệt hạch có điều khiển, thiết bị chân không điện, vật liệu bán dẫn, kính hiển vi điện tử và máy quang phổ khối, và các thiết bị công nghiệp khác yêu cầu độ chân không cực cao.
Thông số kỹ thuật:
| Người mẫu | 2L-25 | ||
| mặt bích | DN35CF | ||
| Tốc độ bơm (L/S) | ( không khí) | 22 | |
| Tốc độ bơm | (Ar) | 0,3 | |
| Áp suất khởi động (Pa) | 5×10-4 | ||
| áp suất cực đại (Pa) | 7×10-8 | ||
| (oC)nhiệt độ nướng | ＜200 | ||
| Có từ tính | |||
| Không có từ tính | ＜300 | ||
| điện áp làm việc (KV) | 7 | ||
| đơn vị điện cực | 1 | ||
| Dài*W*H (mm) | 222×121×161 | ||
| (kg) trọng lượng | 8 | ||
