O vácuo ultra alto engasga o óleo da bomba de íon menos a pressão final do Pa 7×10-8
Bomba de íons, 2L-25, DN35CF, 22L/s Ar, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa A bomba de íons catódicos é um equipamento de geração de vácuo para obter vácuo limpo e ultra-alto. A bomba de íons catódicos é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto sem óleo. A bomba de íons funciona em um sistema fechado ...
Bomba de iões de pulverização de vácuo ultra-alto
,Bomba de iões de pulverização sem óleo
,7×10-8 Pa Sputter Ion Pump
Bomba de íons, 2L-25, DN35CF, 22L/s Ar, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa
A bomba de íons catódicos é um equipamento de geração de vácuo para obter vácuo limpo e ultra-alto.
A bomba de íons catódicos é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto sem óleo.
A bomba de íons funciona em um sistema fechado que não requer bomba de apoio de trabalho contínuo.
Princípio:
O material do ânodo é o cilindro de aço inoxidável e o material da placa de titânio do cátodo. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.
Vantagens:
Esta série de bombas tem vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, vibração zero e conveniência na operação.
Aplicações:
As principais aplicações são os aparelhos de experimentos científicos nas áreas de acelerador de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonuclear controlada, dispositivo elétrico de vácuo, material semicondutor, microscópio eletrônico e espectrômetro de massa e outros equipamentos industriais que requerem vácuo ultra-alto.
Especificações:
| Modelo | 2L-25 | ||
| Flange | DN35CF | ||
| Velocidade de bombeamento (L/S) | ( ar) | 22 | |
| Velocidade de bombeamento | (Ar) | 0,3 | |
| Pressão inicial (Pa) | ≤5×10-4 | ||
| pressão final (Pa) | 7x10-8 | ||
| (℃)temperatura de cozimento | <200 | ||
| Com magnético | |||
| Sem magnético | <300 | ||
| tensão de trabalho (KV) | 7 | ||
| unidade de eletrodo | 1 | ||
| C*L*A (mm) | 222×121×161 | ||
| (kg) peso | 8 | ||
