Ultrahoge vacuümsputter-ionenpompolie minder 7×10-8 Pa ultieme druk
Ionenpomp, 2L-25, DN35CF, 22L/s Lucht, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa Sputter-ionpomp is een vacuümgeneratieapparatuur voor het verkrijgen van een schoon en ultrahoog vacuüm. De sputter-ionenpomp is een hoofdpomp met een olieloze ultrahoogvacuümset. De ionenpomp werkt in een gesloten systeem, waarvoor geen ...
Ultrahoge vacuümsputter-ionpomp
,Olie-minder Sputter-ionpomp
,7×10-8 Pa Sputter Ion Pump
Ionenpomp, 2L-25, DN35CF, 22L/s Lucht, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa
Sputter-ionpomp is een vacuümgeneratieapparatuur voor het verkrijgen van een schoon en ultrahoog vacuüm.
De sputter-ionenpomp is een hoofdpomp met een olieloze ultrahoogvacuümset.
De ionenpomp werkt in een gesloten systeem, waarvoor geen continu werkende voorpomp nodig is.
Beginsel:
Het materiaal van de anode is een roestvrijstalen cilinder en het materiaal van de kathode-istitaniumplaat. Het Penning-ontladingsproces ioniseert gas onder de gezamenlijke werking van een magnetisch veld en een elektrisch veld, waardoor de afvoer van gas wordt gerealiseerd.
Voordelen:
Deze serie pompen heeft voordelen zoals reinheid, hoge vacuümgraad, geen geluid, geen trillingen en bedieningsgemak.
Toepassingen:
De belangrijkste toepassingen zijn de wetenschappelijke experimentapparatuur op het gebied van hoogenergetische deeltjesversneller, gecontroleerde thermonucleaire reactieapparatuur, elektrisch vacuümapparaat, halfgeleidermateriaal, elektronische microscoop en massaspectrometer, en andere industriële apparatuur die ultrahoog vacuüm vereist.
Specificaties:
| Model | 2L-25 | ||
| Flens | DN35CF | ||
| Pompsnelheid (L/S) | ( lucht) | 22 | |
| Pompsnelheid | (Ar) | 0,3 | |
| Opstartdruk (Pa) | ≤5×10-4 | ||
| ultieme druk (Pa) | 7×10-8 | ||
| (℃) baktemperatuur | <200 | ||
| Met magnetisch | |||
| Zonder magnetisch | <300 | ||
| werkspanning (KV) | 7 | ||
| elektrode eenheid | 1 | ||
| L*B*H (mm) | 222×121×161 | ||
| (kg) gewicht | 8 | ||
