Ultra Yüksek Vakum Sputter İyon Pompası Yağı Daha Az 7×10-8 Pa Nihai Basınç
İyon Pompası, 2L-25, DN35CF, 22L/s Hava, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa Püskürtme iyon pompası, temiz ve ultra yüksek vakum elde etmek için vakum üretim ekipmanıdır. Püskürtme iyon pompası, yağsız ultra yüksek vakum setinin ana pompasıdır. İyon pompası, sürekli çalışan destek pompası gerektirmeyen kapalı ...
Ultra Yüksek Vakum Püskürtme İyon Pompası
,Yağsız Püskürtme İyon Pompası
,7 × 10-8 Pa Püskürtme İyon Pompası
İyon Pompası, 2L-25, DN35CF, 22L/s Hava, 0,3L/s Ar, +7KV, 7E-8Pa
Püskürtme iyon pompası, temiz ve ultra yüksek vakum elde etmek için vakum üretim ekipmanıdır.
Püskürtme iyon pompası, yağsız ultra yüksek vakum setinin ana pompasıdır.
İyon pompası, sürekli çalışan destek pompası gerektirmeyen kapalı bir sistemde çalışır.
İlke:
Anot malzemesi paslanmaz çelik gövde, katot malzemesi ise istitanyum plakadır. Penning deşarj işlemi, manyetik alan ve elektrik alanın ortak etkisi altında gazı iyonize ederek gazın egzozunu gerçekleştirir.
Avantajları:
Bu seri pompaların temizlik, yüksek vakum derecesi, sıfır gürültü, sıfır titreşim ve kullanım kolaylığı gibi avantajları vardır.
Uygulamalar:
Ana uygulamalar, yüksek enerjili parçacık hızlandırıcı, kontrollü termonükleer reaksiyon aparatı, elektrikli vakum cihazı, yarı iletken malzeme, elektronik mikroskop ve kütle spektrometresi ve ultra yüksek vakum gerektiren diğer endüstriyel ekipmanlar alanlarındaki bilimsel deney aparatlarıdır.
Özellikler:
| Modeli | 2L-25 | ||
| Flanş | DN35CF | ||
| Pompalama hızı (L/S) | ( hava) | 22 | |
| Pompalama hızı | (Ar) | 0,3 | |
| Başlatma basıncı (Pa) | ≤5×10-4 | ||
| nihai basınç (Pa) | 7×10-8 | ||
| (°C)pişirme sıcaklığı | <200 | ||
| Manyetik ile | |||
| Manyetik olmadan | <300 | ||
| çalışma voltajı (KV) | 7 | ||
| elektrot ünitesi | 1 | ||
| U*G*Y (mm) | 222×121×161 | ||
| (kg) ağırlık | 8 | ||
