Pompes ioniques à sputter à vide ultra-haute huile moins 7×10-8 Pa pression finale

Pompe ionique , 2L-25 , DN35CF , 22L/s Air , 0,3L/s Ar , +7KV , 7E-8Pa

La pompe à pulvérisation ionique est un équipement de génération de vide permettant d'obtenir un vide propre et ultra poussé.

La pompe à pulvérisation ionique est la pompe principale de l'ensemble à ultra-vide sans huile.

La pompe ionique fonctionne dans un système fermé qui ne nécessite pas de pompe d'appoint fonctionnant en continu.

Principe:

Le matériau de l'anode est un corps en acier inoxydable et le matériau de la cathode est une plaque en titane. Le processus de décharge Penning ionise le gaz sous l'action conjointe du champ magnétique et du champ électrique, réalisant ainsi l'épuisement du gaz.

Avantages :

Cette série de pompes présente des avantages tels que la propreté, le degré de vide élevé, l'absence de bruit, l'absence de vibration et la commodité de fonctionnement.

Applications :

Les principales applications sont les appareils d'expérimentation scientifique dans les domaines de l'accélérateur de particules à haute énergie, des appareils de réaction thermonucléaire contrôlés, des dispositifs de vide électrique, des matériaux semi-conducteurs, des microscopes électroniques et des spectromètres de masse, ainsi que d'autres équipements industriels nécessitant un ultra-vide.

Caractéristiques: