Microscope électronique à balayage à émission de champ haute résolution KYKY-EM8100 avec de nouvelles conceptions optiques électroniques telles que la technologie d'accélération du barillet d'objectif et un objectif conique à faible aberration. Il permet d'obtenir une imagerie inférieure au nanomètre à basse tension, a une large applicabilité à divers matériaux et peut répondre aux besoins de test de divers domaines de recherche scientifique et industriels.
Comme KYKY a plus de 60 ans d'expérience dans la fabrication de SEM, toute la série EM prend en charge les anciens systèmes remis à neuf et personnalisés comme SEM+, tels que le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, le remodelage du faisceau d'ions de mise au point, intégré à STM, AFM, étape de chauffage, étape cryo, étape de traction, manipulateur micro-nano, etc.
EM8000 est la première microscopie électronique à balayage Schottky en Chine lancée en 2014. Elle a reçu un certain nombre de commentaires positifs de la part du marché, en particulier de la part des clients universitaires.
Résolution : SE 0,9 nm à 30 kV ; 3 nm à 1 kV.
Grossissement : 1x-3000000x/grossissement optique 1x-100x
Pistolet à électrons : Pistolet à émission de champ Schottky
Tension d'accélération : 0,2 kV-30 kV
Système de vide : 1 pompe ionique de pulvérisation, 1 pompe combinée à ions getter, 1 pompe turbo moléculaire à lévitation magnétique, 1 pompe sèche
Configurations du détecteur :
• Détecteur d'électrons secondaires sous vide poussé
• Caméra CCD infrarouge
• Navigation optique
• Détecteur de rétrodiffusion rétractable à quatre segmentations ※
Platine d'échantillonnage : platine d'échantillonnage automatique à cinq axes
•X=150 mm
• Y=150 mm
•Z=65mm
• T=-10°～ +90°
• R=360°
Fonction d'alarme anti-collision
Exemples de spécifications :
Diamètre maximum de l'échantillon : Ф320 mm
Hauteur maximale de l'échantillon : 90 mm
Accessoires optionnels :
Chambre de transition EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock
Étape de chauffage/étape de refroidissement/étape de traction, etc.
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