Hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop KYKY-EM8100 mit neuen elektronenoptischen Designs wie Objektivtubus-Beschleunigungstechnologie und konischer Objektivlinse mit geringer Aberration. Es ermöglicht eine Bildgebung im Subnanometerbereich bei niedriger Spannung, ist auf verschiedene Materialien anwendbar und kann die Testanforderungen verschiedener wissenschaftlicher Forschungs- und Industriebereiche erfüllen.
Da KYKY über 60 Jahre Erfahrung in der SEM-Herstellung verfügt, unterstützt die gesamte EM-Serie überholte und kundenspezifische Systeme wie SEM+, wie z. B. den Umbau der Elektronenstrahl-Lithographie, den Umbau des Fokus-Ionenstrahls, integriert mit STM, AFM, Heiztisch, Kryotisch, Zugtisch, Mikro-Nano-Manipulator usw. Das System verfügt außerdem über mehrere Schnittstellen an der Kammer, um die meisten auf dem Markt erhältlichen Analysedetektoren anzuschließen.
EM8000 ist das erste Schottky-Rasterelektronenmikroskop in China, das 2014 auf den Markt kam und eine Reihe positiver Kommentare vom Markt, insbesondere von Universitätskunden, erhalten hatte.
Auflösung: SE 0,9 nm bei 30 kV; 3 nm bei 1 kV
Vergrößerung: 1x-3000000x/ Optische Vergrößerung 1x-100x
Elektronenkanone: Schottky-Feldemissionskanone
Beschleunigungsspannung: 0,2 kV-30 kV
Vakuumsystem: 1 Sputter-Ionenpumpe, 1 kombinierte Getter-Ionenpumpe, 1 Magnetschwebe-Turbomolekularpumpe, 1 Trockenpumpe
Detektorkonfigurationen:
• Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor
• Infrarot-CCD-Kamera
• Optische Navigation
• Einziehbarer Rückstreudetektor mit vier Segmenten ※
Probentisch: Fünfachsiger automatischer großer Probentisch
• X=150mm
• Y=150mm
• Z=65mm
• T=-10°～ +90°
• R=360°
Antikollisionsalarmfunktion
Beispielspezifikationen:
Maximaler Probendurchmesser: Ф320 mm
Maximale Probenhöhe: 90 mm
Optionales Zubehör:
EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock-Übergangskammer
Heizstufe / Kühlstufe / Zugstufe usw
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