산업용 도금을 위한 1401L/s 펌핑 속도를 갖춘 33000rpm 수냉식 터보 분자 펌프

자기 부상 펌프, CXF-200/1401, 수냉식, 온보드

"능동 자기 부상 베어링"이라고도 불리는 전자기 베어링은 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 디자인은 동적 반응과 적시 조정을 제공하여 고속 샤프팅과 안정적인 작동을 보장합니다.

자기 부상 분자 펌프는 자기력에 의해 지지되는 샤프트 기능을 갖추고 있습니다. 이 펌프 시리즈는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발되었습니다.

• 자기 베어링 제어 기술:안정적인 부상과 안정적인 고속 샤프팅 작동을 위한 동적 능동형 폐쇄 회로 자기 서스펜션 제어 기술을 갖춘 5축 자기 부상 설계가 특징입니다.
• 모터 드라이브 제어 기술:최대 에너지 효율, 자동 축 속도 보상, 안정적인 시동 및 안정적인 작동을 위해 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템을 활용합니다.
• 탄소 섬유 복합 로터 기술:고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유 복합재로 제작된 터보 로터는 무게를 줄이고 강도를 향상시켜 높은 회전 속도, 성능 및 신뢰성을 제공합니다.
• 부식 방지 기술:반도체 제조 시 부식성 가스에 저항하기 위해 특수 공정으로 처리된 챔버 부품, 저진공 부품에 대한 불활성 가스 보호 기능을 통해 장기간 안정적으로 부식성 가스를 추출할 수 있습니다.
• 가열 온도 제어 시스템:전기히터와 온도조절기를 장착하여 냉각수, 공기중 가열, 전기가열, 보호가스 열을 모니터링 및 제어하여 에칭 등 특수 공정에 최적의 온도를 유지합니다.

1. 낮은 전력 소모로 작동 중 마찰 제로
2. 펌프 윤활 없이 깨끗한 고진공, 초고진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.
3. 장기간 부식성 가스 추출 가능
4. 정밀 세라믹 볼 베어링 보호로 높은 안전성과 긴 사용 수명
5. 갑작스러운 전원 차단 상황에서 전력 생성 기능