산업용 도금을 위한 1401L/s 펌핑 속도를 갖춘 33000rpm 수냉식 터보 분자 펌프
산업용 도금을 위한 1401L/s 펌핑 속도를 갖춘 33000rpm 수냉식 터보 분자 펌프
기본 속성
원산지
중국
브랜드 이름
KYKY
자격증
CE
제품 모델
CXF-200/1401E
거래 자산
MOQ
1
결제 방법
T/T,L/C
제품 요약
1401L/s 속도, 자기 부상 윤활 및 ISO-F/CF 200 플랜지를 갖춘 33000rpm 수냉식 터보 분자 펌프. 산업용 도금 및 반도체 응용 분야를 위한 내식성, 무마찰 작동, 긴 서비스 수명이 특징입니다.
제품 세부정보
강조하다:
1401L/s 터보 분자 펌프
,33000rpm 터보 분자 펌프
,물 냉각 터보 분자 펌프
Pumping Speed:
1401L/초
Rotation Speed:
33000RPM
Ultimate Vacuum:
≤2×10-6 Pa
Compression Ratio:
>1×107
Inlet Flange:
DN200 ISO K(LF), DN200 ISO F, DN200 ISO CF
Weight:
51 킬로그램
제품 설명
산업 도금을 위한 33000rpm 물 냉각 터보 분자 펌프
제품개요
자기 부상 펌프, CXF-200/1401, 수냉식, 온보드
"능동 자기 부상 베어링"이라고도 불리는 전자기 베어링은 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 디자인은 동적 반응과 적시 조정을 제공하여 고속 샤프팅과 안정적인 작동을 보장합니다.
자기 부상 분자 펌프는 자기력에 의해 지지되는 샤프트 기능을 갖추고 있습니다. 이 펌프 시리즈는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발되었습니다.
첨단 기술
- 자기 베어링 제어 기술:안정적인 부상과 안정적인 고속 샤프팅 작동을 위한 동적 능동형 폐쇄 회로 자기 서스펜션 제어 기술을 갖춘 5축 자기 부상 설계가 특징입니다.
- 모터 드라이브 제어 기술:최대 에너지 효율, 자동 축 속도 보상, 안정적인 시동 및 안정적인 작동을 위해 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템을 활용합니다.
- 탄소 섬유 복합 로터 기술:고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유 복합재로 제작된 터보 로터는 무게를 줄이고 강도를 향상시켜 높은 회전 속도, 성능 및 신뢰성을 제공합니다.
- 부식 방지 기술:반도체 제조 시 부식성 가스에 저항하기 위해 특수 공정으로 처리된 챔버 부품, 저진공 부품에 대한 불활성 가스 보호 기능을 통해 장기간 안정적으로 부식성 가스를 추출할 수 있습니다.
- 가열 온도 제어 시스템:전기히터와 온도조절기를 장착하여 냉각수, 공기중 가열, 전기가열, 보호가스 열을 모니터링 및 제어하여 에칭 등 특수 공정에 최적의 온도를 유지합니다.
주요 장점
- 낮은 전력 소모로 작동 중 마찰 제로
- 펌프 윤활 없이 깨끗한 고진공, 초고진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.
- 장기간 부식성 가스 추출 가능
- 정밀 세라믹 볼 베어링 보호로 높은 안전성과 긴 사용 수명
- 갑작스러운 전원 차단 상황에서 전력 생성 기능
기술 사양
| 모델 | CXF-200/1401 |
|---|---|
| 펌프 속도(l/s, 공기) | 1400 |
| 압축비 | >1×107 |
| 극진공(Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| 입구 플랜지 | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| 출구 플랜지 | KF 40 |
| 회전속도(rpm) | 33000 |
| 실행 시간(분) | 6 |
| VIB(mm) | <0.05 |
| 배압 펌프(L/s) | 15 |
| 장착 방향 | 어느 |
| 냉각방식 | 물 |
| 무게(kg)(컨트롤러 포함) | 51 |
