Pompa Turbomolekuler Pendingin Air 33000rpm dengan Kecepatan Pemompaan 1401L/s untuk Pelapisan Industri
Pompa turbomolekuler berpendingin air 33000rpm dengan kecepatan 1401L/s, pelumasan maglev, dan flensa ISO-F/CF 200. Memiliki ketahanan terhadap korosi, operasi tanpa gesekan, dan masa pakai yang lama untuk aplikasi pelapisan industri dan semikonduktor.
1401L/s Pompa Turbomolekuler
,Pompa Turbomolekul 33000rpm
,Pompa turbomolekuler pendingin air
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Pendingin air, Di kapal
Bantalan elektromagnetik, juga disebut "bantalan levitasi magnetik aktif", terdiri dari bantalan magnet, sensor, dan sistem kontrol. Desain ini memberikan respons dinamis dan penyesuaian tepat waktu, memastikan poros berkecepatan tinggi dan pengoperasian yang andal.
Pompa molekuler yang melayang secara magnetis memiliki fitur poros yang didukung oleh gaya magnet. Rangkaian pompa ini dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi dalam manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.
- Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik:Dilengkapi desain melayang magnetis 5 sumbu dengan teknologi kontrol suspensi magnetik sirkuit tertutup aktif dinamis untuk levitasi yang stabil dan pengoperasian poros berkecepatan tinggi yang andal.
- Teknologi Kontrol Penggerak Motor:Memanfaatkan motor DC berkecepatan tinggi dan sistem kontrol servo dengan efisiensi tinggi untuk efisiensi energi maksimum, kompensasi kecepatan poros otomatis, pengaktifan stabil, dan pengoperasian yang andal.
- Teknologi Rotor Komposit Serat Karbon:Rotor turbo terbuat dari paduan aluminium berkekuatan tinggi dan komposit serat karbon ringan, menawarkan pengurangan bobot dan peningkatan kekuatan untuk kecepatan putaran tinggi, kinerja, dan keandalan.
- Teknologi Tahan Korosi:Bagian ruang diolah dengan proses khusus untuk menahan gas korosif dalam manufaktur semikonduktor, dengan perlindungan gas inert untuk bagian vakum rendah memungkinkan ekstraksi gas korosif jangka panjang yang stabil.
- Sistem Kontrol Suhu Pemanasan:Dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu untuk memantau dan mengontrol air pendingin, pemanas udara, pemanas listrik, dan panas gas pelindung, menjaga suhu optimal untuk proses khusus seperti etsa.
- Nol gesekan selama pengoperasian dengan konsumsi daya rendah
- Akuisisi yang mudah terhadap vakum tinggi yang bersih dan vakum ultratinggi tanpa pelumasan pompa
- Mampu mengekstraksi gas korosif jangka panjang
- Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama dengan perlindungan bantalan bola keramik presisi
- Fungsi pembangkit listrik selama situasi mati listrik secara tiba-tiba
| Model | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Kecepatan Pompa (l/s, Udara) | 1400 |
| Rasio Kompresi | >1×10⁷ |
| Vakum Tertinggi (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Flensa Saluran Masuk | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| Flensa Saluran Keluar | KF40 |
| Kecepatan Putaran (rpm) | 33000 |
| Waktu Pengoperasian (menit) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompa Pendukung (L/dtk) | 15 |
| Orientasi Pemasangan | Setiap |
| Metode Pendinginan | Air |
| Berat (kg) (Dengan Pengontrol) | 51 |
