33000 rpm de refrigeración de agua de la bomba turbomolecular con 1401L/s de velocidad de bombeo para el revestimiento industrial
Bomba turbomolecular refrigerada por agua de 33000rpm con velocidad de 1401L/s, lubricación maglev y brida ISO-F/CF 200. Presenta resistencia a la corrosión, funcionamiento sin fricción y larga vida útil para aplicaciones de semiconductores y revestimiento industrial.
1401L/s Bomba Turbomolecular
,33000rpm Bomba Turbomolecular
,Bomba Turbomolecular de enfriamiento por agua
Bomba Maglev, CXF-200/1401, Refrigeración por agua, A bordo
El rodamiento electromagnético, también llamado "rodamiento magnético activo levitado", consta de un rodamiento magnético, un sensor y un sistema de control. Este diseño proporciona una respuesta dinámica y un ajuste oportuno, lo que garantiza un eje de alta velocidad y un funcionamiento confiable.
Las bombas moleculares de levitación magnética cuentan con ejes sostenidos por fuerza magnética. Esta serie de bombas fue desarrollada por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicaciones en la fabricación moderna de semiconductores, fabricación de chips, revestimiento industrial e instrumentos científicos.
- Tecnología de control para rodamientos magnéticos:Cuenta con un diseño de levitación magnética de 5 ejes con tecnología dinámica de control de suspensión magnética de circuito cerrado activo para una levitación estable y una operación confiable de ejes de alta velocidad.
- Tecnología de control de accionamiento del motor:Utiliza un motor de CC de alta velocidad y alta eficiencia y un sistema de servocontrol para una máxima eficiencia energética, compensación automática de la velocidad del eje, arranque estable y funcionamiento confiable.
- Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono:Turborotores fabricados con aleación de aluminio de alta resistencia y compuesto liviano de fibra de carbono, que ofrecen un peso reducido y una resistencia mejorada para una alta velocidad de rotación, rendimiento y confiabilidad.
- Tecnología resistente a la corrosión:Piezas de cámara tratadas con procesos especiales para resistir gases corrosivos en la fabricación de semiconductores, con protección de gas inerte para piezas de bajo vacío que permite una extracción estable de gases corrosivos a largo plazo.
- Sistema de control de temperatura de calefacción:Equipado con calentador eléctrico y controlador de temperatura para monitorear y controlar el agua de refrigeración, la calefacción por aire, la calefacción eléctrica y el calor del gas protector, manteniendo la temperatura óptima para procesos especiales como el grabado.
- Cero fricción durante el funcionamiento con bajo consumo de energía.
- Fácil adquisición de vacío alto y vacío ultraalto limpio sin lubricación de bomba
- Capaz de extracción de gases corrosivos a largo plazo.
- Alta seguridad y larga vida útil con protección de rodamientos de bolas cerámicos de precisión
- Función de generación de energía durante situaciones de apagado repentino
| Modelo | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Velocidad de la bomba (l/s, aire) | 1400 |
| Relación de compresión | >1×10⁷ |
| Vacío máximo (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Brida de entrada | DN200 ISO K(LF) DN200 ISOF DN200 ISO CF |
| Brida de salida | KF 40 |
| Velocidad de rotación (rpm) | 33000 |
| Tiempo de ejecución (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bomba de respaldo (L/s) | 15 |
| Orientación de montaje | Cualquier |
| Método de enfriamiento | Agua |
| Peso (kg) (Con controlador) | 51 |
