33000rpm Wasserkühlturbomolekulare Pumpe mit 1401L/s Pumpgeschwindigkeit für industrielle Plattierung
Wassergekühlte Turbomolekularpumpe mit 33.000 U/min, Geschwindigkeit 1401 l/s, Magnetschwebeschmierung und ISO-F/CF 200-Flansch. Bietet Korrosionsbeständigkeit, reibungsfreien Betrieb und lange Lebensdauer für industrielle Beschichtungs- und Halbleiteranwendungen.
1401L/s Turbomolekulare Pumpe
,33000rpm Turbomolekulare Pumpe
,Wasserkühlung Turbomolekulare Pumpe
Magnetschwebebahn, CXF-200/1401, Wasserkühlung, an Bord
Das elektromagnetische Lager, auch „aktive Magnetschwebelager“ genannt, besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuerungssystem. Dieses Design sorgt für dynamische Reaktion und zeitnahe Anpassung und gewährleistet so Hochgeschwindigkeitswellen und zuverlässigen Betrieb.
Magnetisch schwebende Molekularpumpen verfügen über eine Welle, die durch Magnetkraft unterstützt wird. Diese Pumpenserie wurde von KYKY entwickelt, um Anwendungsanforderungen in der modernen Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industriellen Beschichtung und wissenschaftlichen Instrumenten zu erfüllen.
- Steuerungstechnik für Magnetlager:Verfügt über ein 5-Achsen-Magnetschwebedesign mit dynamischer, aktiver Magnetaufhängungssteuerungstechnologie mit geschlossenem Kreislauf für stabiles Schweben und zuverlässigen Hochgeschwindigkeitswellenbetrieb.
- Motorantriebssteuerungstechnik:Nutzt einen hocheffizienten Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und ein Servosteuerungssystem für maximale Energieeffizienz, automatische Wellengeschwindigkeitskompensation, stabilen Start und zuverlässigen Betrieb.
- Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundwerkstoffen:Turborotoren aus hochfester Aluminiumlegierung und leichtem Kohlefaserverbundwerkstoff bieten reduziertes Gewicht und verbesserte Festigkeit für hohe Drehzahl, Leistung und Zuverlässigkeit.
- Korrosionsbeständige Technologie:Mit speziellen Verfahren behandelte Kammerteile, um korrosiven Gasen in der Halbleiterfertigung standzuhalten, mit Inertgasschutz für Teile mit niedrigem Vakuum, der eine stabile langfristige korrosive Gasabsaugung ermöglicht.
- Heiztemperaturkontrollsystem:Ausgestattet mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler zur Überwachung und Steuerung von Kühlwasser, Luftheizung, elektrischer Heizung und Schutzgaswärme, um die optimale Temperatur für spezielle Prozesse wie Ätzen aufrechtzuerhalten.
- Keine Reibung im Betrieb bei geringem Stromverbrauch
- Einfache Erzeugung von sauberem Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Pumpenschmierung
- Geeignet für die langfristige Extraktion korrosiver Gase
- Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Präzisions-Keramik-Kugellagerschutz
- Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Stromausfall
| Modell | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Pumpengeschwindigkeit (l/s, Luft) | 1400 |
| Kompressionsverhältnis | >1×10⁷ |
| Ultimatives Vakuum (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Einlassflansch | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| Auslassflansch | KF 40 |
| Drehzahl (U/min) | 33000 |
| Hochlaufzeit (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Vorvakuumpumpe (l/s) | 15 |
| Montageausrichtung | Beliebig |
| Kühlmethode | Wasser |
| Gewicht (kg) (mit Controller) | 51 |
