33000 rpm waterkoeling Turbomoleculaire pomp met 1401L/s pompsnelheid voor industriële plating
Watergekoelde turbomoleculaire pomp van 33.000 tpm met een snelheid van 1401 l/s, maglev-smering en ISO-F/CF 200-flens. Beschikt over corrosiebestendigheid, werking zonder wrijving en een lange levensduur voor industriële galvaniserings- en halfgeleidertoepassingen.
1401L/s Turbomoleculaire pomp
,33000rpm Turbomoleculaire pomp
,Water koeling Turbomoleculaire pomp
Maglevpomp, CXF-200/1401, waterkoeling, aan boord
Het elektromagnetische lager, ook wel "actieve magnetische zwevende lagers" genoemd, bestaat uit een magnetisch lager, een sensor en een besturingssysteem. Dit ontwerp zorgt voor een dynamische respons en tijdige aanpassing, waardoor een hoge snelheid en een betrouwbare werking worden gegarandeerd.
Magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn voorzien van assen die worden ondersteund door magnetische kracht. Deze serie pompen is door KYKY ontwikkeld om te voldoen aan de toepassingsvereisten in de moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten.
- Besturingstechnologie voor magnetisch lager:Beschikt over een 5-assig magnetisch zwevend ontwerp met dynamische actieve gesloten-circuit magnetische ophangingsbesturingstechnologie voor stabiele levitatie en betrouwbare hogesnelheidsschachtwerking.
- Motoraandrijfbesturingstechnologie:Maakt gebruik van een zeer efficiënte, snelle DC-motor en servobesturingssysteem voor maximale energie-efficiëntie, automatische assnelheidscompensatie, stabiele start en betrouwbare werking.
- Koolstofvezelcomposietrotortechnologie:Turborotoren gemaakt van een zeer sterke aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezelcomposiet, die een lager gewicht en verbeterde sterkte bieden voor hoge rotatiesnelheid, prestaties en betrouwbaarheid.
- Corrosiebestendige technologie:Kameronderdelen behandeld met speciale processen om corrosieve gassen bij de productie van halfgeleiders te weerstaan, met inerte gasbescherming voor laagvacuümonderdelen die een stabiele langdurige extractie van corrosief gas mogelijk maken.
- Verwarming temperatuurregelsysteem:Uitgerust met een elektrische verwarming en temperatuurregelaar voor het bewaken en regelen van koelwater, luchtverwarming, elektrische verwarming en beschermende gaswarmte, waardoor de optimale temperatuur wordt gehandhaafd voor speciale processen zoals etsen.
- Geen wrijving tijdens bedrijf met laag stroomverbruik
- Gemakkelijk verkrijgen van schoon hoogvacuüm en ultrahoogvacuüm zonder pompsmering
- Geschikt voor langdurige corrosieve gaswinning
- Hoge veiligheid en lange levensduur door precisie-keramische kogellagerbescherming
- Stroomopwekkende functie tijdens plotselinge uitschakelingssituaties
| Model | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Pompsnelheid (l/s, lucht) | 1400 |
| Compressieverhouding | >1×10⁷ |
| Ultiem vacuüm (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Inlaatflens | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| Uitlaatflens | KF 40 |
| Rotatiesnelheid (tpm) | 33000 |
| Aanlooptijd (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Hulppomp (l/s) | 15 |
| Montagerichting | Elk |
| Koelmethode | Water |
| Gewicht (kg) (met controller) | 51 |