33000 rpm Bomba turbomolecular de resfriamento de água com velocidade de bombeamento de 1401L/s para revestimento industrial
Bomba turbomolecular refrigerada a água de 33.000 rpm com velocidade de 1.401 L/s, lubrificação maglev e flange ISO-F/CF 200. Apresenta resistência à corrosão, operação com atrito zero e longa vida útil para aplicações industriais de revestimento e semicondutores.
Bomba turbomolecular 1401L/s
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Bomba Maglev, CXF-200/1401, Resfriamento a água, A bordo
O rolamento eletromagnético, também chamado de "rolamento magnético levitado ativo", consiste em um rolamento magnético, sensor e sistema de controle. Este projeto fornece resposta dinâmica e ajuste oportuno, garantindo eixo de alta velocidade e operação confiável.
As bombas moleculares levitadas magneticamente apresentam eixo suportado por força magnética. Esta série de bombas foi desenvolvida pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação na moderna fabricação de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.
- Tecnologia de controle para rolamento magnético:Apresenta um design de levitação magnética de 5 eixos com tecnologia de controle de suspensão magnética de circuito fechado ativo dinâmico para levitação estável e operação confiável de eixo de alta velocidade.
- Tecnologia de controle de acionamento do motor:Utiliza motor DC de alta velocidade e alta eficiência e sistema de servocontrole para máxima eficiência energética, compensação automática da velocidade do eixo, inicialização estável e operação confiável.
- Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono:Rotores turbo feitos de liga de alumínio de alta resistência e composto leve de fibra de carbono, oferecendo peso reduzido e maior resistência para alta velocidade de rotação, desempenho e confiabilidade.
- Tecnologia de resistência à corrosão:Peças da câmara tratadas com processos especiais para resistir a gases corrosivos na fabricação de semicondutores, com proteção de gás inerte para peças de baixo vácuo, permitindo extração estável de gases corrosivos a longo prazo.
- Sistema de controle de temperatura de aquecimento:Equipado com aquecedor elétrico e controlador de temperatura para monitorar e controlar a água de resfriamento, aquecimento aéreo, aquecimento elétrico e calor de gás protetor, mantendo a temperatura ideal para processos especiais como gravação.
- Fricção zero durante a operação com baixo consumo de energia
- Fácil aquisição de alto vácuo limpo e ultra-alto vácuo sem lubrificação da bomba
- Capaz de extração de gás corrosivo a longo prazo
- Alta segurança e longa vida útil com proteção de rolamento de esferas de cerâmica de precisão
- Função de geração de energia durante situações de desligamento repentino
| Modelo | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Velocidade da bomba (l/s, ar) | 1400 |
| Taxa de compressão | >1×10⁷ |
| Vácuo Final (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Flange de entrada | DN200 ISOK(LF) DN200ISOF DN200 ISOCF |
| Flange de saída | KF 40 |
| Velocidade de rotação (rpm) | 33.000 |
| Tempo de aceleração (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bomba de apoio (L/s) | 15 |
| Orientação de montagem | Qualquer |
| Método de resfriamento | Água |
| Peso (kg) (com controlador) | 51 |
