33000 obrotów na minutę Wodochłaniająca pompa turbomolekularna o prędkości pompowania 1401L/s do przemysłowego powlekania
Chłodzona wodą pompa turbomolekularna o prędkości 33000 obr./min i prędkości 1401 l/s, smarowaniu maglev i kołnierzu ISO-F/CF 200. Charakteryzuje się odpornością na korozję, zerowym tarciem i długą żywotnością w zastosowaniach przemysłowych i półprzewodnikowych.
Pompa turbomolekularna 1401L/s
,pompa turbomolekularna 33000 obr./min
,pompa turbomolekularna chłodzona wodą
Pompa Maglev, CXF-200/1401, Chłodzenie wodne, Na pokładzie
Łożysko elektromagnetyczne, zwane także „aktywnymi lewitowanymi łożyskami magnetycznymi”, składa się z łożyska magnetycznego, czujnika i układu sterującego. Taka konstrukcja zapewnia dynamiczną reakcję i terminową regulację, zapewniając szybkie obracanie się wałów i niezawodne działanie.
Magnetycznie lewitowane pompy molekularne mają wał wspierany siłą magnetyczną. Ta seria pomp została opracowana przez firmę KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentach naukowych.
- Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym:Posiada 5-osiową konstrukcję lewitującą magnetycznie z dynamiczną technologią aktywnego sterowania zawieszeniem magnetycznym w obwodzie zamkniętym, zapewniającą stabilną lewitację i niezawodną pracę wałów z dużą prędkością.
- Technologia sterowania napędem silnikowym:Wykorzystuje wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwomechanizmem w celu zapewnienia maksymalnej efektywności energetycznej, automatycznej kompensacji prędkości wału, stabilnego rozruchu i niezawodnej pracy.
- Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego:Wirniki Turbo wykonane z wytrzymałego stopu aluminium i lekkiego kompozytu z włókna węglowego, oferujące zmniejszoną wagę i zwiększoną wytrzymałość w celu uzyskania dużej prędkości obrotowej, wydajności i niezawodności.
- Technologia odporna na korozję:Części komory poddane specjalnym procesom zapewniającym odporność na gazy korozyjne w produkcji półprzewodników, z ochroną przed gazem obojętnym w przypadku części o niskiej próżni, umożliwiającą stabilną, długoterminową ekstrakcję gazów korozyjnych.
- System kontroli temperatury ogrzewania:Wyposażony w grzejnik elektryczny i regulator temperatury do monitorowania i kontrolowania wody chłodzącej, ogrzewania powietrznego, ogrzewania elektrycznego i ciepła gazu ochronnego, utrzymując optymalną temperaturę dla procesów specjalnych, takich jak trawienie.
- Zero tarcia podczas pracy przy niskim zużyciu energii
- Łatwe uzyskiwanie czystej, wysokiej i bardzo wysokiej próżni bez smarowania pompy
- Możliwość długotrwałego usuwania gazów korozyjnych
- Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki precyzyjnej ceramicznej ochronie łożysk kulkowych
- Funkcja wytwarzania energii w sytuacjach nagłego wyłączenia zasilania
| Model | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Prędkość pompy (l/s, powietrze) | 1400 |
| Współczynnik kompresji | >1×10⁷ |
| Ostateczna próżnia (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| Kołnierz wlotowy | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| Kołnierz wylotowy | KF 40 |
| Prędkość obrotowa (rpm) | 33000 |
| Czas rozruchu (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompa wspomagająca (L/s) | 15 |
| Orientacja montażu | Każdy |
| Metoda chłodzenia | Woda |
| Waga (kg) (ze sterownikiem) | 51 |
