工業用塗装用用 1401L/s パンプ速度で水冷却ターボ分子ポンプ 33000rpm

リニアモーターカーポンプ、CXF-200/1401、水冷、車載

電磁軸受は「能動磁気浮上軸受」とも呼ばれ、磁気軸受、センサー、制御システムで構成されています。この設計は、動的な応答とタイムリーな調整を提供し、高速シャフトと信頼性の高い動作を保証します。

磁気浮上分子ポンプは、磁力によってサポートされるシャフトを備えています。このポンプ シリーズは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキ、科学機器のアプリケーション要件を満たすために KYKY によって開発されました。

• 磁気軸受の制御技術：安定した浮上と信頼性の高い高速軸動作を実現するダイナミックアクティブ閉回路磁気サスペンション制御技術を備えた 5 軸磁気浮上設計が特徴です。
• モーター駆動制御技術：高効率高速 DC モーターとサーボ制御システムを採用し、最大のエネルギー効率、自動軸速度補償、安定した起動、信頼性の高い動作を実現します。
• カーボンファイバー複合ローターテクノロジー:ターボローターは高強度アルミニウム合金と軽量カーボンファイバー複合材で作られており、軽量化と強度の向上により高い回転速度、パフォーマンス、信頼性を実現します。
• 耐食技術:半導体製造における腐食性ガスに耐える特殊処理を施したチャンバー部品。低真空部品には不活性ガス保護を施し、長期安定した腐食性ガスの抽出を可能にします。
• 加熱温度制御システム:電気ヒーターと温度コントローラーを装備し、冷却水、空中加熱、電気加熱、保護ガス熱を監視制御し、エッチングなどの特殊プロセスに最適な温度を維持します。

1. 低消費電力で動作時の摩擦ゼロ
2. ポンプ無給油でクリーンな高真空・超高真空が簡単に得られます。
3. 長期間の腐食性ガスの抽出が可能
4. 高精度セラミックボールベアリング保護による高い安全性と長寿命
5. 突然の停電時の発電機能