Máy bơm phân tử làm mát bằng nước 33000 vòng/phút với tốc độ bơm 1401L/s cho mạ công nghiệp
Máy bơm phân tử làm mát bằng nước 33000 vòng/phút với tốc độ bơm 1401L/s cho mạ công nghiệp
Thuộc tính cơ bản
Nước Xuất Xứ
Trung Quốc
Tên Thương Hiệu
KYKY
Giấy Chứng Nhận
CE
Mẫu Sản Phẩm
CXF-200/1401E
Tài sản giao dịch
MOQ
1
Phương Thức Thanh Toán
T/T, L/C
Tóm tắt sản phẩm
Bơm tua-bin phân tử làm mát bằng nước 33000 vòng/phút với tốc độ 1401L/s, bôi trơn đệm từ và mặt bích ISO-F/CF 200. Có tính năng chống ăn mòn, hoạt động không ma sát và tuổi thọ dài cho các ứng dụng bán dẫn và mạ công nghiệp.
Chi tiết sản phẩm
Làm nổi bật:
1401L/s Máy bơm Turbomolecular
,33000rpm Máy bơm Turbomolecular
,Nước làm mát Máy bơm Turbomolecular
Pumping Speed:
1401L/giây
Rotation Speed:
33000 vòng/phút
Ultimate Vacuum:
2 × 10-6 Pa
Compression Ratio:
>1×107
Inlet Flange:
DN200 ISO K(LF), DN200 ISO F, DN200 ISO CF
Weight:
51kg
Mô tả sản phẩm
Máy bơm phân tử làm mát bằng nước 33000rpm cho mạ công nghiệp
Tổng quan về sản phẩm
Bơm Maglev, CXF-200/1401, Làm mát bằng nước, Trên tàu
Ổ trục điện từ, còn được gọi là "vòng bi nâng từ tính chủ động", bao gồm ổ trục từ tính, cảm biến và hệ thống điều khiển. Thiết kế này mang lại phản ứng động và điều chỉnh kịp thời, đảm bảo trục tốc độ cao và vận hành đáng tin cậy.
Máy bơm phân tử được nâng lên từ tính có trục được hỗ trợ bởi lực từ. Dòng máy bơm này được KYKY phát triển nhằm đáp ứng yêu cầu ứng dụng trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và các thiết bị khoa học.
Công nghệ tiên tiến
- Công nghệ điều khiển vòng bi từ:Có thiết kế bay lên từ tính 5 trục với công nghệ điều khiển hệ thống treo từ tính mạch kín hoạt động năng động để bay lên ổn định và vận hành trục tốc độ cao đáng tin cậy.
- Công nghệ điều khiển truyền động động cơ:Sử dụng động cơ DC tốc độ cao và hệ thống điều khiển servo hiệu suất cao để đạt hiệu suất năng lượng tối đa, bù tốc độ trục tự động, khởi động ổn định và vận hành đáng tin cậy.
- Công nghệ cánh quạt composite sợi carbon:Rôto Turbo được làm từ hợp kim nhôm có độ bền cao và hỗn hợp sợi carbon nhẹ, giúp giảm trọng lượng và cải thiện độ bền để có tốc độ quay, hiệu suất và độ tin cậy cao.
- Công nghệ chống ăn mòn:Các bộ phận buồng được xử lý bằng quy trình đặc biệt để chống lại khí ăn mòn trong sản xuất chất bán dẫn, với khả năng bảo vệ khí trơ cho các bộ phận có độ chân không thấp cho phép khai thác khí ăn mòn ổn định lâu dài.
- Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm:Được trang bị lò sưởi điện và bộ điều khiển nhiệt độ để theo dõi và kiểm soát nước làm mát, sưởi ấm bằng không khí, sưởi ấm bằng điện và nhiệt khí bảo vệ, duy trì nhiệt độ tối ưu cho các quy trình đặc biệt như ăn mòn.
Ưu điểm chính
- Không ma sát trong quá trình vận hành với mức tiêu thụ điện năng thấp
- Dễ dàng thu được chân không sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn máy bơm
- Có khả năng khai thác khí ăn mòn lâu dài
- Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài với khả năng bảo vệ vòng bi gốm chính xác
- Chức năng tạo nguồn trong trường hợp mất điện đột ngột
Thông số kỹ thuật
| Người mẫu | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Tốc độ bơm (l/s, Không khí) | 1400 |
| Tỷ lệ nén | >1×10⁷ |
| Chân không tối đa (Pa) | 2×10⁻⁶ |
| Mặt bích đầu vào | DN200 ISO K(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| Mặt bích đầu ra | KF 40 |
| Tốc độ quay (vòng/phút) | 33000 |
| Thời gian chạy (phút) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bơm lùi (L/s) | 15 |
| Định hướng lắp đặt | Bất kì |
| Phương pháp làm mát | Nước |
| Trọng lượng (kg) (Có bộ điều khiển) | 51 |
