33000 об/мин Водоохлаждающий турбомолекулярный насос с скоростью сброса 1401 л/с для промышленного покрытия

Насос Maglev, CXF-200/1401, Водяное охлаждение, Бортовой

Электромагнитный подшипник, также называемый «активными магнитными левитирующими подшипниками», состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Такая конструкция обеспечивает динамичный отклик и своевременную регулировку, обеспечивая высокоскоростную работу вала и надежную работу.

Молекулярные насосы с магнитной левитацией имеют вал, поддерживаемый магнитной силой. Эта серия насосов была разработана KYKY для удовлетворения требований современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

• Технология управления магнитным подшипником:Имеет 5-осевую конструкцию с магнитной подвеской и динамической активной технологией управления магнитной подвеской замкнутого контура, обеспечивающую стабильную левитацию и надежную работу высокоскоростного вала.
• Технология управления приводом двигателя:Использует высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и систему сервоуправления для максимальной энергоэффективности, автоматической компенсации скорости вала, стабильного запуска и надежной работы.
• Технология композитного ротора из углеродного волокна:Турбороторы изготовлены из высокопрочного алюминиевого сплава и легкого композита из углеродного волокна, что обеспечивает уменьшенный вес и повышенную прочность, а также высокую скорость вращения, производительность и надежность.
• Технология защиты от коррозии:Детали камеры, обработанные специальными процессами для защиты от агрессивных газов в производстве полупроводников, с защитой инертного газа для деталей низкого вакуума, обеспечивающей стабильное и долгосрочное удаление агрессивных газов.
• Система контроля температуры нагрева:Оснащен электрическим нагревателем и регулятором температуры для контроля и управления охлаждающей водой, воздушным нагревом, электрическим нагревом и нагревом защитного газа, поддерживая оптимальную температуру для специальных процессов, таких как травление.

1. Нулевое трение во время работы с низким энергопотреблением.
2. Простое получение чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки насоса.
3. Способен к длительному извлечению коррозионного газа.
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря прецизионной защите керамических шарикоподшипников.
5. Функция генерации энергии во время внезапного отключения питания