33000 об/мин Водоохлаждающий турбомолекулярный насос с скоростью сброса 1401 л/с для промышленного покрытия
Турбомолекулярный насос с водяным охлаждением, скоростью 33000 об/мин, скоростью 1401 л/с, магнитной смазкой и фланцем ISO-F/CF 200. Обладает коррозионной стойкостью, работой с нулевым трением и длительным сроком службы для промышленного нанесения покрытий и полупроводников.
1401L/s Турбомолекулярный насос
,33000rpm Турбомолекулярный насос
,Водяной охлаждающий турбомолекулярный насос
Насос Maglev, CXF-200/1401, Водяное охлаждение, Бортовой
Электромагнитный подшипник, также называемый «активными магнитными левитирующими подшипниками», состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Такая конструкция обеспечивает динамичный отклик и своевременную регулировку, обеспечивая высокоскоростную работу вала и надежную работу.
Молекулярные насосы с магнитной левитацией имеют вал, поддерживаемый магнитной силой. Эта серия насосов была разработана KYKY для удовлетворения требований современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.
- Технология управления магнитным подшипником:Имеет 5-осевую конструкцию с магнитной подвеской и динамической активной технологией управления магнитной подвеской замкнутого контура, обеспечивающую стабильную левитацию и надежную работу высокоскоростного вала.
- Технология управления приводом двигателя:Использует высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и систему сервоуправления для максимальной энергоэффективности, автоматической компенсации скорости вала, стабильного запуска и надежной работы.
- Технология композитного ротора из углеродного волокна:Турбороторы изготовлены из высокопрочного алюминиевого сплава и легкого композита из углеродного волокна, что обеспечивает уменьшенный вес и повышенную прочность, а также высокую скорость вращения, производительность и надежность.
- Технология защиты от коррозии:Детали камеры, обработанные специальными процессами для защиты от агрессивных газов в производстве полупроводников, с защитой инертного газа для деталей низкого вакуума, обеспечивающей стабильное и долгосрочное удаление агрессивных газов.
- Система контроля температуры нагрева:Оснащен электрическим нагревателем и регулятором температуры для контроля и управления охлаждающей водой, воздушным нагревом, электрическим нагревом и нагревом защитного газа, поддерживая оптимальную температуру для специальных процессов, таких как травление.
- Нулевое трение во время работы с низким энергопотреблением.
- Простое получение чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки насоса.
- Способен к длительному извлечению коррозионного газа.
- Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря прецизионной защите керамических шарикоподшипников.
- Функция генерации энергии во время внезапного отключения питания
| Модель | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Скорость насоса (л/с, воздух) | 1400 |
| Степень сжатия | >1×10⁷ |
| Предельный вакуум (Па) | ≤2×10⁻⁶ |
| Входной фланец | ДУ200 ИСО К(ЛФ) Ду200 ИСО Ф ДУ200 ИСО CF |
| Выходной фланец | КФ 40 |
| Скорость вращения (об/мин) | 33000 |
| Время запуска (мин) | 6 |
| ВИБ (мм) | <0,05 |
| Форвакуумный насос (л/с) | 15 |
| Монтажная ориентация | Любой |
| Метод охлаждения | Вода |
| Вес (кг) (с контроллером) | 51 |
