33000 รอบ / นาที ปั๊มระบายน้ําระบายน้ํา Turbomolecular กับ 1401L / s ความเร็วการปั๊มสําหรับการเคลือบอุตสาหกรรม
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลระบายความร้อนด้วยน้ำ 33,000 รอบต่อนาที ความเร็ว 1401 ลิตร/วินาที การหล่อลื่นแม็กเลฟ และหน้าแปลน ISO-F/CF 200 โดดเด่นด้วยความต้านทานการกัดกร่อน การดำเนินการเสียดสีเป็นศูนย์ และอายุการใช้งานยาวนานสำหรับการชุบในอุตสาหกรรมและงานเซมิคอนดักเตอร์
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล 1401 ลิตร/วินาที
,ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 33000 รอบต่อนาที
,ปั๊มระบายความร้อนด้วยน้ำเทอร์โบโมเลกุล
ปั๊ม Maglev, CXF-200/1401, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, ออนบอร์ด
ตลับลูกปืนแม่เหล็กไฟฟ้าหรือที่เรียกว่า "ตลับลูกปืนลอยแม่เหล็กแบบแอคทีฟ" ประกอบด้วยตลับลูกปืนแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุม การออกแบบนี้ให้การตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับตามเวลา ทำให้มั่นใจได้ถึงเพลาความเร็วสูงและการทำงานที่เชื่อถือได้
ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กมีลักษณะเป็นเพลาที่รองรับด้วยแรงแม่เหล็ก ปั๊มซีรีส์นี้ได้รับการพัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองความต้องการในการใช้งานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์
- เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก:โดดเด่นด้วยการออกแบบที่ลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน พร้อมเทคโนโลยีควบคุมระบบกันสะเทือนแม่เหล็กวงจรปิดแบบไดนามิกที่ใช้งานอยู่ เพื่อการลอยที่มั่นคงและการทำงานของเพลาความเร็วสูงที่เชื่อถือได้
- เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์:ใช้มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูงเพื่อประสิทธิภาพการใช้พลังงานสูงสุด การชดเชยความเร็วของเพลาอัตโนมัติ การสตาร์ทที่เสถียร และการทำงานที่เชื่อถือได้
- เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์:ใบพัดเทอร์โบทำจากอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงและคอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา ให้น้ำหนักที่ลดลงและเพิ่มความแข็งแกร่งเพื่อความเร็วในการหมุน ประสิทธิภาพ และความน่าเชื่อถือที่สูง
- เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน:ชิ้นส่วนห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษเพื่อต้านทานก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พร้อมการป้องกันก๊าซเฉื่อยสำหรับชิ้นส่วนสูญญากาศต่ำ ทำให้สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในระยะยาวได้อย่างมีเสถียรภาพ
- ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน:ติดตั้งเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและเครื่องควบคุมอุณหภูมิเพื่อตรวจสอบและควบคุมน้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยอากาศ เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนจากก๊าซป้องกัน โดยรักษาอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลัก
- ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ
- ดูดสุญญากาศสูงที่สะอาดและสุญญากาศสูงพิเศษได้ง่ายโดยไม่ต้องหล่อลื่นปั๊ม
- สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว
- ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานพร้อมการป้องกันลูกปืนเซรามิกที่แม่นยำ
- ฟังก์ชั่นการสร้างพลังงานในระหว่างสถานการณ์การปิดเครื่องอย่างกะทันหัน
| แบบอย่าง | CXF-200/1401 |
|---|---|
| ความเร็วปั๊ม (ลิตร/วินาที อากาศ) | 1400 |
| อัตราส่วนกำลังอัด | >1×10⁷ |
| สุดยอดสุญญากาศ (Pa) | ≤2×10⁻⁶ |
| หน้าแปลนขาเข้า | DN200 ISO เค(LF) DN200 ISO F DN200 ISO CF |
| หน้าแปลนทางออก | เคเอฟ 40 |
| ความเร็วในการหมุน (รอบต่อนาที) | 33000 |
| เวลารันอัพ (นาที) | 6 |
| ไวบี (มม.) | <0.05 |
| ปั๊มสำรอง (ลิตร/วินาที) | 15 |
| การวางแนวการติดตั้ง | ใดๆ |
| วิธีการทำความเย็น | น้ำ |
| น้ำหนัก (กก.) (พร้อมตัวควบคุม) | 51 |
