مضخات توربوبومب و أنظمة ضخ مغناطيسية CXF-250/2301E
مضخة ماجليف , CXF-250/2301E , تبريد مائي , على متن السفينة المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم عمودها بحكم القوة المغناطيسية. المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ تم تطويرها بواسطة KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة و...
المضخات التوربينية وأنظمة الضخ CXF-250/2301E
,المضخات التوربينية وأنظمة الضخ التي يتم رفعها مغناطيسيًا
مضخة ماجليف , CXF-250/2301E , تبريد مائي , على متن السفينة
المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم عمودها بحكم القوة المغناطيسية.
المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ تم تطويرها بواسطة KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة وتصنيع الرقائق والطلاء الصناعي والأدوات العلمية.
التقنيات:
- تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي:يتم رفعه مغناطيسيًا بخمسة محاور، استنادًا إلى نظرية التحكم الدولية المتقدمة، لضمان المزايا المهمة للعمود عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
- تقنية التحكم في محرك المحرك:محرك DC عالي السرعة ونظام تحكم مؤازر، يتمتع بأقصى طاقة للمحرك ويعوض سرعة دوران العمود تلقائيًا، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر وتشغيل موثوق ووظيفة التنظيم التلقائي للطاقة الديناميكية.
- تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون:مصنوعة من خلال تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن. تتميز بتخفيض كبير في الوزن وتحسين كبير في القوة، بحيث يتم تحقيق أهداف ذات سرعة دوران عالية وأداء عالٍ وموثوقية عالية.
- تكنولوجيا مقاومة التآكل:تتم معالجة أسطح الأجزاء في الغرف بعملية خاصة، بحيث تتمكن الأسطح من مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة. بالإضافة إلى ذلك، يتم ملء الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في أعمدة المضخات لحماية الأجزاء ذات الفراغ المنخفض في المضخات، بحيث يتم تحقيق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
- نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة:مجهزة بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة، يمكن مراقبة ومراقبة مياه التبريد وتسخين الهواء والعظام والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها الغازات الواقية أثناء التشغيل، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند قيمة معينة على المدى الطويل، ولا يتم تحويل بعض المواد الغازية إلى مواد صلبة في درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات، ويمكن تلبية متطلبات العمليات الخاصة مثل النقش.
التطبيقات:
يتم تطبيق المضخات الجزيئية المرفوعة مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات، وتصنيع المشبك، والطلاء الصناعي والأدوات العلمية، وخاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في الحفر، والأمراض القلبية الوعائية، وPVD، وزرع الأيونات والغازات المتخثرة بسهولة في درجة الحرارة العادية.
تحديد:
| شفة (في) | DN250 CF/ISO-K، ISO-F |
| شفة (خارج) KF | DN40 |
| سرعة الضخ (لتر/ثانية) | ن2:2300 |
| ع:2250 | |
| هو: 1900 | |
| ح2:850 | |
| نسبة الضغط | ن2:108 |
| ع:108 | |
| هو:104 | |
| ح2:103 | |
| الضغط النهائي (باسكال) | CF:1×10-6 |
| ISO-K/F:6×10-6 | |
| الأعلى. ضغط الفراغ الأمامي المستمر (Pa) | 60 |
| الأعلى. ضغط الفراغ الأمامي | ن2:250 |
| الغاز في جميع أنحاء (sccm) | ن2:3600 |
| ع:1400 | |
| هو: 2800 | |
| ح2:2100 | |
| سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) | 27000 |
| وقت التشغيل (دقيقة) | ≥11 |
| نوع التبريد، قياسي | ماء |
| استهلاك مياه التبريد (لتر/دقيقة) | 1 |
| درجة حرارة مياه التبريد (°C) | 20 |
| اتصال الطاقة: الجهد (الخامس تيار متردد) | 220 |
