चुंबकीय रूप से लेविटेटेड टर्बोपंप और पम्पिंग सिस्टम CXF-250/2301E

मैग्लेव पंप, सीएक्सएफ-250/2301ई, पानी ठंडा करना, बोर्ड पर

चुंबकीय रूप से उत्तोलनित आणविक पंप वे पंप होते हैं जिनकी शाफ्टिंग चुंबकीय बल के आधार पर समर्थित होती है।

श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप आधुनिक अर्धचालक विनिर्माण, चिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों के लिए आवेदन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए केवाईकेवाई द्वारा विकसित वैक्यूम पीढ़ी उपकरण हैं।

प्रौद्योगिकी:

• चुंबकीय बियरिंग के लिए नियंत्रण प्रौद्योगिकी:उच्च गति शाफ्टिंग के स्थिर उत्तोलित और विश्वसनीय संचालन जैसे महत्वपूर्ण लाभों की गारंटी देने के लिए, उन्नत अंतरराष्ट्रीय नियंत्रण सिद्धांत पर आधारित 5-अक्ष चुंबकीय रूप से उत्तोलित।
• मोटर ड्राइव नियंत्रण प्रौद्योगिकी:उच्च दक्षता वाली उच्च गति डीसी मोटर और सर्वो नियंत्रण प्रणाली, जिसमें मोटर की अधिकतम ऊर्जा होती है और स्वचालित रूप से शाफ्टिंग की घूर्णन गति की भरपाई होती है, जिससे स्थिर स्टार्ट-अप, विश्वसनीय संचालन और गतिशील ऊर्जा के स्वचालित विनियमन कार्य का एहसास होता है।
• कार्बन फाइबर कम्पोजिट रोटर प्रौद्योगिकी:उच्च शक्ति वाले एल्यूमीनियम मिश्र धातु और हल्के वजन वाले कार्बन फाइबर को मिलाकर बनाया गया है। वजन में भारी कमी और ताकत में बड़े सुधार की विशेषता, ताकि उच्च घूर्णन गति, उच्च प्रदर्शन और उच्च विश्वसनीयता के लक्ष्य प्राप्त किए जा सकें।
• संक्षारण प्रतिरोधी प्रौद्योगिकी:कक्षों में भागों की सतहों को विशेष प्रक्रिया से उपचारित किया जाता है, ताकि सतहें लंबे समय तक अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में संक्षारक गैसों के कारण होने वाले क्षरण का विरोध कर सकें। इसके अलावा, पंपों में कम वैक्यूम भागों की सुरक्षा के लिए पंपों की शाफ्टिंग में एन2 जैसी अक्रिय गैसें पूरी तरह से भरी जाती हैं, ताकि लंबे समय तक संक्षारक गैसों को स्थिर रूप से समाप्त करने का कार्य साकार हो सके।
• ताप तापमान नियंत्रण प्रणाली:एक इलेक्ट्रिक हीटर और एक तापमान नियंत्रक से सुसज्जित, ठंडा पानी, एयर-बोन हीटिंग, इलेक्ट्रिक हीटिंग और सुरक्षात्मक गैसों द्वारा की जाने वाली गर्मी को ऑपरेशन के दौरान मॉनिटर और नियंत्रित किया जा सकता है, पंपों में तापमान को लंबे समय तक कुछ मूल्य पर बनाए रखा जा सकता है, कुछ गैसीय पदार्थ सामान्य तापमान पर ठोस पदार्थों में परिवर्तित नहीं होते हैं और पंपों में जमा नहीं होते हैं, और नक़्क़ाशी जैसी विशेष प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सकता है।

अनुप्रयोग:

श्रृंखला चुंबकीय रूप से उत्तोलन आणविक पंप मुख्य रूप से अर्धचालक विनिर्माण, क्लिप निर्माण, औद्योगिक चढ़ाना और वैज्ञानिक उपकरणों के क्षेत्रों में लागू होते हैं, विशेष रूप से ईच, सीवीडी, पीवीडी और आयन प्रत्यारोपण में मौजूद संक्षारक गैसों के निष्कर्षण और सामान्य तापमान पर आसानी से जमा होने वाली गैसों के लिए।

विशेष विवरण: