Магнитно левитируемые турбонасосы и насосные системы CXF-250/2301E

Насос Maglev , CXF-250/2301E , Водяное охлаждение , Бортовой

Молекулярные насосы на магнитной подвеске — это насосы, валы которых поддерживаются за счет магнитной силы.

Серия молекулярных насосов на магнитной подвеске представляет собой оборудование для генерации вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства чипов, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Технологии:

• Технология управления магнитным подшипником:5-осевой магнитно-левитационный механизм, основанный на передовой международной теории управления, гарантирует такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя:Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
• Технология композитного ротора из углеродного волокна:Изготовлен путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, что позволяет достичь высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
• Технология защиты от коррозии:Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальной обработкой, благодаря чему поверхности могут в течение длительного времени противостоять коррозии, вызываемой агрессивными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, валы насосов полностью заполнены инертными газами, такими как N2, для защиты низковакуумных частей насосов, благодаря чему реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.
• Система контроля температуры нагрева:оснащен электрическим нагревателем и регулятором температуры, охлаждающая вода, воздушный нагрев костей, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не откладываются в насосах, а также могут быть выполнены требования к специальному процессу, например травлению.

Приложения:

Серийные молекулярные насосы с магнитной подвеской в ​​основном применяются в области производства полупроводников, производства зажимов, промышленного нанесения покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.

Технические характеристики: