Turbopumpas e sistemas de bombeamento levitados magneticamente CXF-250/2301E

Bomba Maglev, CXF-250/2301E, resfriamento a água, a bordo

As bombas moleculares levitadas magneticamente são aquelas cujo eixo é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação nas áreas de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para rolamento magnético:um eixo de 5 eixos levitado magneticamente, baseado na teoria de controle internacional avançada, para garantir vantagens tão significativas do eixo de alta velocidade como operação levitada estável e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento do motor:Motor DC de alta velocidade e sistema de controle servo de alta eficiência, com energia máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulação automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono:Fabricado com liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. caracterizado por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de forma que sejam alcançados objetivos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão:As superfícies das peças nas câmaras são tratadas com processos especiais, para que as superfícies possam resistir por muito tempo à corrosão causada por gases corrosivos nos processos de fabricação de semicondutores. Além disso, gases inertes como o N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que seja realizada a função de exaustão estável de gases corrosivos por longos períodos.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento:equipado com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção podem ser monitorados e controlados durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor por longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para processos especiais como de gravação podem ser atendidos.

Aplicações:

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases corrosivos existentes em corrosão, CVD, PVD e implantação de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal.

Especificações: