Turbopumpas y sistemas de bombeo levitados magnéticamente CXF-250/2301E

Bomba Maglev, CXF-250/2301E, Refrigeración por agua, A bordo

Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son bombas cuyo eje está sostenido por fuerza magnética.

Las bombas moleculares de levitación magnética de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, fabricación de chips, revestimiento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologías:

• Tecnología de control para rodamientos magnéticos:Un eje de levitación magnética de 5 ejes, basado en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar ventajas tan significativas del eje de alta velocidad como levitación estable y operación confiable.
• Tecnología de control de accionamiento del motor:Motor de CC de alta velocidad y alta eficiencia y sistema de servocontrol, que tiene la máxima energía del motor y compensa la velocidad de rotación del eje automáticamente, logrando así un arranque estable, un funcionamiento confiable y una función de regulación automática de la energía dinámica.
• Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono:Fabricado combinando una aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. caracterizado por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
• Tecnología resistente a la corrosión:Las superficies de las piezas en las cámaras se tratan con un proceso especial, de modo que puedan resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, los gases inertes como el N2 se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las partes de bajo vacío de las bombas, de modo que se realice la función de expulsar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
• Sistema de control de temperatura de calefacción:equipadas con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, el agua de refrigeración, la calefacción de aire y huesos, la calefacción eléctrica y el calor transportado por los gases protectores se pueden monitorear y controlar durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor durante un largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir con los requisitos de procesos especiales como el grabado.

Aplicaciones:

Las bombas moleculares de levitación magnética en serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, enchapado industrial e instrumentos científicos, especialmente para la extracción de gases corrosivos existentes en grabado, CVD, PVD e implantación de iones y gases que se coagulan fácilmente a temperatura normal.

Presupuesto: