Hệ thống bơm và bơm tuốc bin tăng áp từ trường CXF-250/2301E

Bơm Maglev, CXF-250/2301E, Làm mát bằng nước, Trên tàu

Máy bơm phân tử được nâng lên bằng từ tính là máy bơm có trục được hỗ trợ nhờ lực từ.

Dòng máy bơm phân tử được nâng bằng từ trường là thiết bị tạo chân không được KYKY phát triển để đáp ứng yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.

Công nghệ:

• Công nghệ điều khiển vòng bi từ:một trục được nâng lên bằng từ trường 5 trục, dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những ưu điểm đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
• Công nghệ điều khiển truyền động động cơ:Hệ thống điều khiển servo và động cơ DC tốc độ cao hiệu suất cao, có năng lượng tối đa của động cơ và tự động bù tốc độ quay của trục, từ đó thực hiện khởi động ổn định, vận hành đáng tin cậy và chức năng điều chỉnh tự động của năng lượng động.
• Công nghệ cánh quạt composite sợi carbon:Được chế tạo bằng cách kết hợp hợp kim nhôm cường độ cao và sợi carbon trọng lượng nhẹ. được đặc trưng bởi việc giảm trọng lượng đáng kể và cải thiện sức mạnh đáng kể, để đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
• Công nghệ chống ăn mòn:Bề mặt các bộ phận trong buồng được xử lý bằng quy trình đặc biệt, nhờ đó bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn lâu dài do khí ăn mòn gây ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Ngoài ra, các khí trơ như N2 được nạp đầy vào trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, nhờ đó thực hiện được chức năng xả khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
• Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm:được trang bị lò sưởi điện và bộ điều khiển nhiệt độ, nước làm mát, hệ thống sưởi bằng không khí, hệ thống sưởi bằng điện và nhiệt do khí bảo vệ mang theo có thể được theo dõi và kiểm soát trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm có thể được duy trì ở một giá trị nào đó trong thời gian dài, một số chất khí không được chuyển đổi thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không lắng đọng trong máy bơm, đồng thời có thể đáp ứng các yêu cầu đối với quy trình đặc biệt như khắc.

Ứng dụng:

Dòng máy bơm phân tử bay lên từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và các khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.

Thông số kỹ thuật: