Turbopompe e sistemi di pompaggio levitati magneticamente CXF-250/2301E

Pompa Maglev, CXF-250/2301E, Raffreddamento ad acqua, A bordo

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici:un asse a levitazione magnetica a 5 assi, basato su una teoria di controllo internazionale avanzata, per garantire vantaggi significativi dell'albero ad alta velocità come un funzionamento levitato stabile e affidabile.
• Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore:Motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e sistema di servocontrollo, con la massima energia del motore e compensazione automatica della velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avvio stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio:Realizzato combinando lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. caratterizzato da una grande riduzione di peso e un grande miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di alta velocità di rotazione, alte prestazioni ed alta affidabilità.
• Tecnologia resistente alla corrosione:Le superfici delle parti nelle camere sono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, gas inerti come N2 sono completamente riempiti negli alberi delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto delle pompe, in modo da realizzare la funzione di scarico stabile dei gas corrosivi per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura del riscaldamento:dotato di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possono essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe può essere mantenuta a un certo valore per un lungo periodo, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'incisione.

Applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie vengono applicate principalmente ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti in attacco, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.

Specifiche: