Magnetschwebe-Turbopumpen und Pumpsysteme CXF-250/2301E

Magnetschwebebahnpumpe, CXF-250/2301E, Wasserkühlung, an Bord

Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch magnetische Kraft unterstützt wird.

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie sind Geräte zur Vakuumerzeugung, die von KYKY entwickelt wurden, um Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.

Technologien:

• Steuerungstechnik für Magnetlager:eine 5-Achsen-Magnetschwebevorrichtung, die auf der fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert und so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie stabile Schwebebewegung und zuverlässigen Betrieb gewährleistet.
• Motorantriebssteuerungstechnik:Hocheffizientes Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor- und Servosteuerungssystem mit maximaler Motorenergie und automatischer Kompensation der Drehzahl der Welle, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regulierungsfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
• Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundwerkstoff:Hergestellt durch die Verbindung einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser. zeichnet sich durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, so dass Ziele wie hohe Drehzahl, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie:Die Oberflächen der Teile in den Kammern werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, sodass die Oberflächen der Korrosion durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen lange Zeit widerstehen können. Darüber hinaus sind die Wellen der Pumpen vollständig mit Inertgasen wie N2 gefüllt, um die Niedervakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion der stabilen Absaugung korrosiver Gase über lange Zeiträume gewährleistet ist.
• Heizungstemperaturregelsystem:Ausgestattet mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler können Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen transportierte Wärme während des Betriebs überwacht und gesteuert werden, die Temperatur in den Pumpen kann langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden, einige gasförmige Substanzen werden bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und lagern sich nicht in den Pumpen ab, und Anforderungen für spezielle Prozesse wie das Ätzen können erfüllt werden.

Anwendungen:

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation auftreten, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.

Spezifikationen: