Turbopumps และระบบสูบน้ำแบบลอยด้วยแม่เหล็ก CXF-250/2301E

ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-250/2301E , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ออนบอร์ด

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่รองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์เป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก:แกนลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน ตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของการเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์:มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูง มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้สตาร์ทเครื่องได้อย่างเสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์:ผลิตจากการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงเข้ากับคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา โดดเด่นด้วยการลดน้ำหนักได้อย่างมากและการปรับปรุงความแข็งแกร่งอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน:พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษเพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อย เช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ระบายออกอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน:สามารถติดตั้งเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ น้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยอากาศกระดูก เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่พาโดยก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมได้ในระหว่างการใช้งาน สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าใดค่าหนึ่งในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติและจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้

การใช้งาน:

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัดกรด CVD PVD และการฝังไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ

ข้อมูลจำเพาะ: