Manyetik Kaldırmalı Turbo Pompalar ve Pompalama Sistemleri CXF-250/2301E
Maglev Pompası, CXF-250/2301E, Su soğutma, Yerleşik Manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, şaftı manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır. Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, KYKY tarafından modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel ...
CXF-250/2301E Turbo Pompalar ve Pompalama Sistemleri
,Manyetik Olarak Levitasyonlu Turbo Pompalar ve Pompalama Sistemleri
Maglev Pompası, CXF-250/2301E, Su soğutma, Yerleşik
Manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, şaftı manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.
Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, KYKY tarafından modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.
Teknolojiler:
- Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi:Yüksek hızlı şaftlamanın stabil kaldırma ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti etmek için gelişmiş uluslararası kontrol teorisine dayanan 5 eksenli manyetik olarak kaldırılmıştır.
- Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi:Motorun maksimum enerjisine sahip olan ve şaftın dönme hızını otomatik olarak telafi eden yüksek verimli, yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve dinamik enerjinin otomatik düzenleme fonksiyonunu gerçekleştirir.
- Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi:Yüksek mukavemetli alüminyum alaşımı ve hafif karbon fiberin birleşiminden yapılmıştır. Ağırlığın büyük ölçüde azaltılması ve mukavemetin büyük ölçüde iyileştirilmesi ile karakterize edilir, böylece yüksek dönme hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılır.
- Korozyona dayanıklı teknoloji:Haznelerdeki parçaların yüzeyleri özel işlemden geçirilir, böylece yüzeyler yarı iletken üretim proseslerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilir. Ayrıca pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için pompaların şaftına N2 gibi inert gazlar tam olarak doldurulmakta, böylece korozif gazların uzun süre stabil olarak dışarı atılması işlevi gerçekleştirilmektedir.
- Isıtma sıcaklık kontrol sistemi:elektrikli ısıtıcı ve sıcaklık kontrol cihazı ile donatılmış, soğutma suyu, hava-kemik ısıtması, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazların taşıdığı ısı, çalışma sırasında izlenebilmekte ve kontrol edilebilmekte, pompalardaki sıcaklık uzun süre belli bir değerde tutulabilmekte, bazı gaz halindeki maddeler normal sıcaklıkta katı maddelere dönüşerek pompalarda birikmemekte, aşındırma gibi özel işlem gereksinimleri karşılanabilmektedir.
Uygulamalar:
Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalatı, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.
Özellikler:
| Flanş (İç) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
| Flanş(Dışarı) KF | DN40 |
| Pompalama Hızı (L/s) | N2:2300 |
| Ar:2250 | |
| O:1900 | |
| H2:850 | |
| Sıkıştırma Oranı | N2:108 |
| Ar:108 | |
| O:104 | |
| H2:103 | |
| Nihai Basınç (Pa) | CF:1×10-6 |
| ISO-K/F:6×10-6 | |
| Maks. Sürekli Ön vakum basıncı (Pa) | 60 |
| Maks. Ön Vakum Basıncı | N2:250 |
| Boyunca Gaz (sccm) | N2:3600 |
| Ar:1400 | |
| O:2800 | |
| H2:2100 | |
| Dönüş Hızı (rpm) | 27000 |
| Çalıştırma Süresi(dak) | ≤11 |
| Soğutma Tipi, Standart | su |
| Soğutma Suyu Tüketimi (L/dak) | 1 |
| Soğutma Suyu Sıcaklığı(°C) | 20 |
| Güç Bağlantısı: Gerilim (V AC) | 220 |
