ゼロ摩擦 5 軸ターボ分子ポンプ反腐食

水冷磁気浮上式潤滑ターボ分子ポンプ CE

テクノロジー:

• 磁気軸受の制御技術：採用した電磁石は5軸磁気浮上式です。この設計は、高度な国際制御理論に基づいた動的アクティブ閉回路磁気サスペンション制御技術によって動的応答とタイムリーな調整を実現し、安定した浮上と信頼性の高い動作などの高速軸の重要な利点を保証します。
• モーター駆動制御技術：高効率高速DCモーターとサーボ制御システムを直列磁気浮上ポンプに適用し、モーターのエネルギーを最大限に引き出し、軸の回転速度を自動的に補償し、安定した起動、確実な動作、動的エネルギーの自動調整機能を実現します。
• カーボンファイバー複合ローター技術: シリアル磁気サスペンション分子ポンプのターボローターは、高強度アルミニウム合金と軽量カーボンファイバーを複合して作られています。ターボローターは全アルミ合金製ローターに比べ、大幅な軽量化と強度の大幅な向上を実現し、高回転化、高性能化、高信頼性の目標を達成します。
• 耐食技術：直列磁気サスペンション分子ポンプのチャンバー内の部品表面に特殊な処理を施し、半導体製造工程における腐食性ガスによる腐食に長期間耐えることができます。また、ポンプ軸内にはN2などの不活性ガスを封入し、ポンプ内の低真空部を保護し、腐食性ガスを長期間安定して排気する機能を実現しています。
• 加熱温度制御システム：直列磁気浮上分子ポンプには電気ヒーターと温度コントローラーが装備されており、動作中に冷却水、エアボーン加熱、電気加熱、保護ガスによる熱を監視および制御でき、ポンプ内の温度を長期間一定に維持でき、一部のガス状物質は常温では固体に変化せずポンプ内に堆積せず、エッチングなどの特殊プロセスの要件にも対応できます。

仕様:

アプリケーション:

シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野に応用されており、特にエッチング、CVD、PVD、イオン注入中に存在する腐食性ガスや常温で凝集しやすいガスの抽出に使用されています。