Máy bơm phân tử 5 trục không ma sát chống ăn mòn

Máy bơm phân tử bôi trơn Maglev làm mát bằng nước CE

Công nghệ:

• Công nghệ điều khiển cho vòng bi từ: Điện từ được sử dụng là 5 trục được nâng lên từ tính. Thiết kế này có thể có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời bằng công nghệ điều khiển hệ thống treo từ tính mạch kín chủ động dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những ưu điểm đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
• Công nghệ điều khiển truyền động động cơ: Hệ thống điều khiển servo và động cơ DC tốc độ cao hiệu suất cao được áp dụng cho các máy bơm được nâng lên từ tính nối tiếp, do đó, để có được năng lượng tối đa của động cơ và tự động bù tốc độ quay của trục, từ đó thực hiện khởi động ổn định, vận hành đáng tin cậy và chức năng điều chỉnh tự động của năng lượng động.
• Công nghệ rôto tổng hợp sợi carbon: Cánh quạt turbo của máy bơm phân tử treo từ tính nối tiếp được chế tạo bằng cách kết hợp hợp kim nhôm cường độ cao và sợi carbon trọng lượng nhẹ. So với tất cả các rôto hợp kim nhôm, rôto turbo có đặc điểm là giảm trọng lượng đáng kể và cải thiện sức mạnh đáng kể, nhờ đó đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
• Công nghệ chống ăn mòn: Bề mặt các bộ phận trong buồng của bơm phân tử treo từ tính nối tiếp được xử lý bằng quy trình đặc biệt, nhờ đó bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn do khí ăn mòn gây ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn trong thời gian dài. Ngoài ra, các khí trơ như N2 được nạp đầy trong trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, nhờ đó thực hiện được chức năng xả khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
• Hệ thống kiểm soát nhiệt độ gia nhiệt: Các máy bơm phân tử được nâng bằng từ trường được trang bị bộ gia nhiệt điện và bộ điều khiển nhiệt độ, do đó, nước làm mát, hệ thống sưởi không khí, sưởi ấm bằng điện và nhiệt do khí bảo vệ mang theo có thể được theo dõi và kiểm soát trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm có thể được duy trì ở một giá trị nào đó trong thời gian dài, một số chất khí không được chuyển đổi thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không lắng đọng trong máy bơm, đồng thời có thể đáp ứng các yêu cầu đối với quy trình đặc biệt như ăn mòn.

Thông số kỹ thuật:

Ứng dụng:

Dòng máy bơm phân tử bay lên từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và các khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.