Pompa turbomolecolare a 5 assi Zero Friction anticorrosione

Pompa turbomolecolare per lubrificazione Maglev con raffreddamento ad acqua CE

Tecnologie:

• Tecnologia di controllo per il cuscinetto magnetico: l'elettromagnetismo adottato è un 5 assi a levitazione magnetica. Questo design può avere una risposta dinamica e una regolazione tempestiva mediante la tecnologia di controllo dinamico delle sospensioni magnetiche attive a circuito chiuso basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire vantaggi significativi dell'albero ad alta velocità come un funzionamento levitato stabile e affidabile.
• Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore: il motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e il sistema di servocontrollo vengono applicati alle pompe a levitazione magnetica in serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avvio stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: i rotori turbo delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale sono realizzati combinando lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori turbo sono caratterizzati da una notevole riduzione del peso e da un notevole miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di elevata velocità di rotazione, alte prestazioni ed elevata affidabilità.
• Tecnologia di resistenza alla corrosione: le superfici delle parti nelle camere delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale vengono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, gas inerti come N2 sono completamente riempiti negli alberi delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto delle pompe, in modo da realizzare la funzione di scarico stabile dei gas corrosivi per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono dotate di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe può essere mantenuta a un certo valore per un lungo periodo, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'incisione.

Specifiche:

Applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie vengono applicate principalmente ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare all'estrazione di gas corrosivi esistenti in attacco, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.