Reibungslose 5-Achsen-Turbomolekularpumpe mit Korrosionsschutz

Wasserkühlung, Magnetschwebebahn, Schmierung, Turbomolekularpumpe, CE

Technologien:

• Steuerungstechnologie für Magnetlager: Der verwendete Elektromagnet ist ein 5-Achsen-Magnetschwebesystem. Diese Konstruktion ermöglicht eine dynamische Reaktion und eine zeitnahe Anpassung mithilfe einer dynamischen, aktiven Magnetaufhängungssteuerungstechnologie mit geschlossenem Kreislauf, die auf der fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert, um so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie einen stabilen schwebenden und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
• Technologie zur Steuerung des Motorantriebs: Ein hocheffizienter Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und ein Servosteuerungssystem werden bei Reihenmagnetschwebepumpen eingesetzt, um die maximale Energie des Motors zu erreichen und die Drehzahl der Welle automatisch zu kompensieren, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regulierungsfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
• Kohlefaser-Verbundrotor-Technologie: Die Turborotoren serieller Magnetschwebe-Molekularpumpen werden durch die Verbindung einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser hergestellt. Im Vergleich zu allen Rotoren aus Aluminiumlegierung zeichnen sich die Turborotoren durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, sodass Ziele wie hohe Drehzahl, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie: Oberflächen von Teilen in Kammern serieller Magnetsuspensions-Molekularpumpen werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, so dass die Oberflächen der durch korrosive Gase in Halbleiterherstellungsprozessen verursachten Korrosion lange Zeit widerstehen können. Darüber hinaus sind Inertgase wie N2 vollständig in den Wellen der Pumpen eingefüllt, um die Niedervakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion der stabilen Absaugung korrosiver Gase über lange Zeiträume hinweg gewährleistet ist.
• Heizungstemperatur-Kontrollsystem: Magnetschwebe-Molekularpumpen der Serie sind mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler ausgestattet, so dass Kühlwasser, Luft-Knochen-Erwärmung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen transportierte Wärme während des Betriebs überwacht und gesteuert werden können, die Temperatur in den Pumpen langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden kann, einige gasförmige Substanzen bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und nicht in den Pumpen abgeschieden werden und Anforderungen für spezielle Prozesse wie Ätzen erfüllt werden können.

Spezifikationen:

Anwendungen:

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation auftreten, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.