Anticorrosão zero da bomba Turbomolecular da linha central da fricção 5

CE da bomba turbomolecular da lubrificação de Maglev refrigerar de água

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para rolamento magnético: O eletromagnético adotado é um levitado magneticamente de 5 eixos. Este projeto pode ter resposta dinâmica e ajuste oportuno por meio da tecnologia de controle de suspensão magnética de circuito fechado ativo dinâmico baseada na teoria de controle internacional avançada, de modo a garantir vantagens significativas do eixo de alta velocidade como operação levitada estável e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento do motor: Motor DC de alta velocidade e alta eficiência e sistema de servocontrole são aplicados a bombas levitadas magneticamente em série, para ter energia máxima do motor e compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulação automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Os rotores turbo das bombas moleculares de suspensão magnética serial são feitos de liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Em comparação com todos os rotores de liga de alumínio, os rotores turbo são caracterizados por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que sejam alcançados objetivos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão: As superfícies das peças nas câmaras das bombas moleculares de suspensão magnética serial são tratadas com processos especiais, para que as superfícies possam resistir por muito tempo à corrosão causada por gases corrosivos nos processos de fabricação de semicondutores. Além disso, gases inertes como o N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as partes de baixo vácuo nas bombas, de modo que seja realizada a função de exaustão estável de gases corrosivos por longos períodos.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento: As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipadas com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, de modo que a água de resfriamento, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento elétrico e o calor transportado por gases de proteção possam ser monitorados e controlados durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor por longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para processos especiais, como de gravação, podem ser atendidos.

Especificações:

Aplicações:

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para extração de gases corrosivos existentes em corrosão, CVD, PVD e implantação de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal.