Αντιδιαβρωτική στροβιλομοριακή αντλία μηδενικής τριβής 5 αξόνων

Water Cooling Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για μαγνητικά ρουλεμάν: Το υιοθετημένο ηλεκτρομαγνητικό είναι ένα μαγνητικά ανυψούμενο 5 αξόνων. Αυτός ο σχεδιασμός μπορεί να έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη ρύθμιση μέσω της τεχνολογίας δυναμικού ενεργού ελέγχου μαγνητικής ανάρτησης κλειστού κυκλώματος που βασίζεται στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, έτσι ώστε να εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλών ταχυτήτων, όπως σταθερή αιωρούμενη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κίνησης κινητήρα: Ο υψηλής απόδοσης κινητήρας DC υψηλής ταχύτητας και σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού εφαρμόζονται σε σειρές μαγνητικά αιωρούμενες αντλίες, ώστε να έχουν μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και να αντισταθμίζουν αυτόματα την ταχύτητα περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και αυτόματη ρύθμιση της δυναμικής ενέργειας.
• Τεχνολογία σύνθετου ρότορα από ανθρακονήματα: Οι στροβιλορότορες των σειριακών μοριακών αντλιών με μαγνητική ανάρτηση κατασκευάζονται με τη σύνθεση κράματος αλουμινίου υψηλής αντοχής και ελαφρού βάρους ινών άνθρακα. Σε σύγκριση με όλους τους ρότορες από κράμα αλουμινίου, οι ρότορες turbo χαρακτηρίζονται από μεγάλη μείωση βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία αντίστασης στη διάβρωση: Οι επιφάνειες εξαρτημάτων σε θαλάμους μοριακών αντλιών σειριακής μαγνητικής ανάρτησης επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντιστέκονται στη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπλέον, τέτοια αδρανή αέρια όπως το Ν2 γεμίζονται πλήρως στον άξονα των αντλιών για την προστασία των τμημάτων χαμηλού κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να επιτυγχάνεται η λειτουργία σταθερής εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης: Οι μοριακές αντλίες της σειράς είναι εξοπλισμένες με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, έτσι ώστε το νερό ψύξης, η θέρμανση αέρα, η ηλεκτρική θέρμανση και η θερμότητα που μεταφέρεται από προστατευτικά αέρια να μπορούν να παρακολουθούνται και να ελέγχονται κατά τη λειτουργία. μπορεί να συναντηθεί.

Προδιαγραφές:

Εφαρμογές:

Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες εφαρμόζονται κυρίως σε πεδία κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή κλιπ, βιομηχανική επιμετάλλωση και επιστημονικά όργανα, ειδικά στην εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στην εμφύτευση ιόντων, CVD, PVD και ιόντων και αερίων που πήζουν εύκολα σε κανονική θερμοκρασία.