Corrosion nulle de pompe turbomoléculaire d'axe du frottement 5 anti

CE de pompe turbomoléculaire de lubrification de Maglev de refroidissement par eau

Technologies :

• Technologie de contrôle pour le roulement magnétique : l'électromagnétique adopté est une lévitation magnétique à 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement rapide au moyen d'une technologie de contrôle de suspension magnétique active en circuit fermé basée sur une théorie de contrôle internationale avancée, de manière à garantir des avantages aussi significatifs de l'arbre à grande vitesse qu'un fonctionnement stable et fiable en lévitation.
• Technologie de contrôle d'entraînement du moteur : Un moteur à courant continu à haute vitesse et un système de servocommande à haut rendement sont appliqués aux pompes en série à lévitation magnétique, afin d'avoir une énergie maximale du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, réalisant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
• Technologie de rotor composite en fibre de carbone : les rotors turbo des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont fabriqués en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. En comparaison avec tous les rotors en alliage d'aluminium, les rotors turbo se caractérisent par une grande réduction de poids et une grande amélioration de la résistance, de sorte que les objectifs de vitesse de rotation élevée, de hautes performances et de haute fiabilité soient atteints.
• Technologie de résistance à la corrosion : les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont traitées avec un processus spécial, de sorte que les surfaces puissent résister pendant une longue période à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont entièrement remplis dans l'arbre des pompes pour protéger les pièces à faible vide dans les pompes, de sorte que la fonction d'évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisée.
• Système de contrôle de la température de chauffage : les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont équipées d'un chauffage électrique et d'un contrôleur de température, de sorte que l'eau de refroidissement, le chauffage de l'air, le chauffage électrique et la chaleur transportée par les gaz de protection puissent être surveillés et contrôlés pendant le fonctionnement, la température dans les pompes peut être maintenue à une certaine valeur à long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences d'un processus spécial tel que la gravure peuvent être satisfaites.

Caractéristiques:

Applications :

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier pour l'extraction des gaz corrosifs présents dans la gravure, le CVD, le PVD et l'implantation ionique et les gaz facilement coagulés à température normale.