Zero Friction 5-assige turbomoleculaire pomp, anticorrosief

Waterkoeling Maglev-smering Turbomoleculaire pomp CE

Technologieën:

• Besturingstechnologie voor magnetisch lager: het aangenomen elektromagnetische systeem is magnetisch zwevend met 5 assen. Dit ontwerp kan een dynamische respons en tijdige aanpassing hebben door middel van dynamische actieve magnetische ophangingsbesturingstechnologie met gesloten circuit, gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om zulke significante voordelen van de hogesnelheidsschacht te garanderen als een stabiele zwevende en betrouwbare werking.
• Motoraandrijfbesturingstechnologie: Hoogefficiënte, snelle DC-motor en servobesturingssysteem worden toegepast op seriematig magnetisch zwevende pompen, om maximale energie van de motor te hebben en de rotatiesnelheid van de as automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regelfunctie van dynamische energie worden gerealiseerd.
• Koolstofvezelcomposietrotortechnologie: De turborotoren van seriële moleculaire pompen met magnetische ophanging zijn gemaakt door een combinatie van een zeer sterke aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel. In vergelijking met alle rotors van aluminiumlegering worden de turborotoren gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen van hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie: Oppervlakken van onderdelen in kamers van seriële moleculaire pompen met magnetische ophanging worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken lange tijd bestand zijn tegen corrosie veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderproductieprocessen. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig gevuld in de schachten van de pompen om de laagvacuümdelen in de pompen te beschermen, zodat de functie van het stabiel afvoeren van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Verwarmingstemperatuurregelsysteem: serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, zodat koelwater, lucht-botverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen tijdens bedrijf kunnen worden gecontroleerd en geregeld, de temperatuur in de pompen kan voor lange termijn op een bepaalde waarde worden gehouden, sommige gasvormige stoffen worden bij normale temperatuur niet omgezet in vaste stoffen en worden niet in de pompen afgezet, en er kan aan de vereisten voor een speciaal proces zoals etsen worden voldaan.

Specificaties:

Toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op het gebied van de productie van halfgeleiders, clipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten, vooral voor de extractie van corrosieve gassen die voorkomen bij ets-, CVD-, PVD- en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk worden gecoaguleerd bij normale temperatuur.