5-osiowa pompa turbomolekularna o zerowym tarciu, odporna na korozję

Chłodzona wodą pompa turbomolekularna ze smarowaniem Maglev CE

Technologie:

• Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym: Przyjęty elektromagnetyczny to 5-osiowy lewitowany magnetycznie. Konstrukcja ta może charakteryzować się dynamiczną reakcją i terminową regulacją za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym w obwodzie zamkniętym, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkiego wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i układ sterowania serwomechanizmem są stosowane w szeregowych pompach lewitowanych magnetycznie, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie kompensować prędkość obrotową wałów, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodne działanie i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wirniki turbo seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane przez połączenie wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego. W porównaniu ze wszystkimi wirnikami ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się znaczną redukcją masy i znaczną poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w postaci dużej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są poddawane specjalnemu procesowi, dzięki czemu powierzchnie są przez długi czas odporne na korozję powodowaną przez żrące gazy w procesach produkcji półprzewodników. Ponadto gazy obojętne, takie jak N2, są całkowicie wypełnione wałami pomp, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego usuwania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: Seria pomp molekularnych lewitowanych magnetycznie jest wyposażona w grzejnik elektryczny i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnym poziomie przez długi czas, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a także mogą zostać spełnione wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie.

Dane techniczne:

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących podczas trawienia, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.