Corrosión anti cero de la bomba turbomolecular de AXIS de la fricción 5

CE de la bomba turbomolecular de lubricación Maglev de refrigeración por agua

Tecnologías:

• Tecnología de control para rodamientos magnéticos: el electromagnético adoptado es un levitación magnética de 5 ejes. Este diseño puede tener una respuesta dinámica y un ajuste oportuno mediante tecnología de control de suspensión magnética de circuito cerrado activo dinámico basada en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar ventajas tan significativas del eje de alta velocidad como levitación estable y operación confiable.
• Tecnología de control de accionamiento del motor: El motor de CC de alta velocidad y alta eficiencia y el sistema de servocontrol se aplican a las bombas en serie con levitación magnética, para obtener la máxima energía del motor y compensar la velocidad de rotación del eje automáticamente, logrando así un arranque estable, una operación confiable y una función de regulación automática de la energía dinámica.
• Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono: los turborotores de las bombas moleculares de suspensión magnética en serie están fabricados mediante una combinación de aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. En comparación con todos los rotores de aleación de aluminio, los turborotores se caracterizan por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
• Tecnología resistente a la corrosión: las superficies de las piezas en las cámaras de las bombas moleculares de suspensión magnética en serie se tratan con un proceso especial, de modo que las superficies puedan resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, gases inertes como el N2 se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las partes de bajo vacío de las bombas, de modo que se realice la función de expulsar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
• Sistema de control de temperatura de calentamiento: Las bombas moleculares de levitación magnética en serie están equipadas con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, de modo que el agua de refrigeración, el calentamiento de los huesos del aire, el calentamiento eléctrico y el calor transportado por los gases protectores se pueden monitorear y controlar durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor durante un largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir los requisitos para procesos especiales como el grabado.

Presupuesto:

Aplicaciones:

Las bombas moleculares de levitación magnética en serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, enchapado industrial e instrumentos científicos, especialmente para la extracción de gases corrosivos existentes en grabado, CVD, PVD e implantación de iones y gases que se coagulan fácilmente a temperatura normal.