Zero Friction 5 Axis Turbomolecular Pump ป้องกันการกัดกร่อน
Zero Friction 5 Axis Turbomolecular Pump ป้องกันการกัดกร่อน
คุณสมบัติพื้นฐาน
ประเทศต้นทาง
จีน
ชื่อแบรนด์
KYKY
ใบรับรอง
CE
รุ่นสินค้า
CXF-200/1401E
คุณสมบัติการซื้อขาย
ขั้นต่ำ
1
วิธีการชำระเงิน
ที/ที, แอล/C
สรุปผลิตภัณฑ์
น้ำหล่อเย็น Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE เทคโนโลยี: เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้เป็นแบบลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมระบบกันสะเทือนแม่เหล็กวงจรปิดแบบไดนามิกตามทฤษฎีการ...
รายละเอียดสินค้า
เน้น:
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล 5 แกน
,ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลป้องกันการกัดกร่อน
,ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแรงเสียดทานเป็นศูนย์
Pumping Speed:
1401ลิตร/วินาที
Lubrication:
แม็กเลฟ
Flange:
ISO-F/CF 200
Cooling:
น้ำ
Name:
Zero Friction 5 Axis Turbomolecular Pump ป้องกันการกัดกร่อน
Keyword:
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล
รายละเอียดสินค้า
น้ำหล่อเย็น Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE
เทคโนโลยี:
- เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้เป็นแบบลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมระบบกันสะเทือนแม่เหล็กวงจรปิดแบบไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญดังกล่าวของเพลาความเร็วสูงเนื่องจากการทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
- เทคโนโลยีการควบคุมการขับเคลื่อนมอเตอร์: มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูงถูกนำไปใช้กับปั๊มลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ เพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้การสตาร์ทมีเสถียรภาพ การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
- เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลระบบกันสะเทือนแม่เหล็กแบบอนุกรมทำโดยการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา เมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยด์ทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบมีลักษณะพิเศษคือลดน้ำหนักได้ดีเยี่ยมและมีการปรับปรุงความแข็งแกร่งได้ดีมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
- เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ปล่อยออกมาอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
- ระบบควบคุมอุณหภูมิเครื่องทำความร้อน: ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์มีเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้สามารถตรวจสอบและควบคุมน้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยกระดูกอากาศ เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่พาโดยก๊าซป้องกันได้ในระหว่างการใช้งาน สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าหนึ่งในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติ และจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้
ข้อมูลจำเพาะ:
| แบบอย่าง | CXF-200/1401 |
| ความเร็วปั๊ม(ลิตร/วินาที,อากาศ) | 1400 |
| อัตราส่วนกำลังอัด | >1×107 |
| สุดยอดสุญญากาศ(Pa) | ≤2×10-6 |
| หน้าแปลนขาเข้า | DN200 ISO เค(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| หน้าแปลนทางออก | เคเอฟ 40 |
| ความเร็วในการหมุน(รอบต่อนาที) | 33000 |
| เวลารันอัพ (นาที) | 6 |
| ไวบี (มม.) | <0.05 |
| ปั๊มสำรอง (ลิตร/วินาที) | 15 |
| การติดตั้งหรือการติดตั้ง | ใดๆ |
| วิธีการทำความเย็น | น้ำ |
| น้ำหนัก (กก.) (พร้อมตัวควบคุม) | 51 |
การใช้งาน:
ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัดกรด CVD PVD และการฝังไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ
